发明公开
- 专利标题: 检查装置
- 专利标题(英): INSPECTION DEVICE
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申请号: CN201380073441.8申请日: 2013-12-25
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公开(公告)号: CN105008852A公开(公告)日: 2015-10-28
- 发明人: 佐佐木浩一 , 松田晋也 , 加藤秋久
- 申请人: 第一实业视检系统股份有限公司
- 申请人地址: 日本大阪府吹田市穗波町12番43号
- 专利权人: 第一实业视检系统股份有限公司
- 当前专利权人: 第一实业视检系统股份有限公司
- 当前专利权人地址: 日本大阪府吹田市穗波町12番43号
- 代理机构: 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司
- 代理商 孙皓晨
- 优先权: 2013-030766 2013.02.20 JP
- 国际申请: PCT/JP2013/084577 2013.12.25
- 国际公布: WO2014/129082 JA 2014.08.28
- 进入国家日期: 2015-08-20
- 主分类号: G01B11/24
- IPC分类号: G01B11/24 ; G01N21/84
摘要:
该检查装置1具有:用于搬运被检查物W的搬运机构2;于检查位置P中,用于照明通过搬运机构2所搬运的被检查物W的被检查面Wa的第1照明机构5;及用于拍摄被检查面Wa的摄影照相机4。其中第1照明机构5具有用于照明被检查面Wa的多个发光器12,20;及用于支撑该发光器12,20的支撑体6,13。支撑体13是构成至少与其它一群的发光器12相比,在隔离检查位置P的位置来支撑离搬运路径最近的发光器20。于隔离的发光器20及其它一群发光器12之间,形成可从与检查位置P的另一侧的背面观察到被检查面Wa的空间18,摄影照相机4可透过该空间来拍摄到被检查面Wa。
公开/授权文献
- CN105008852B 检查装置 公开/授权日:2017-09-26