发明公开

检查装置
摘要:
该检查装置1具有:用于搬运被检查物W的搬运机构2;于检查位置P中,用于照明通过搬运机构2所搬运的被检查物W的被检查面Wa的第1照明机构5;及用于拍摄被检查面Wa的摄影照相机4。其中第1照明机构5具有用于照明被检查面Wa的多个发光器12,20;及用于支撑该发光器12,20的支撑体6,13。支撑体13是构成至少与其它一群的发光器12相比,在隔离检查位置P的位置来支撑离搬运路径最近的发光器20。于隔离的发光器20及其它一群发光器12之间,形成可从与检查位置P的另一侧的背面观察到被检查面Wa的空间18,摄影照相机4可透过该空间来拍摄到被检查面Wa。
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