发明公开
- 专利标题: 研磨用组合物及研磨物制造方法
- 专利标题(英): Polishing composition and method for manufacturing polished article
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申请号: CN201480009943.9申请日: 2014-02-14
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公开(公告)号: CN105073941A公开(公告)日: 2015-11-18
- 发明人: 土屋公亮 , 丹所久典
- 申请人: 福吉米株式会社
- 申请人地址: 日本爱知县
- 专利权人: 福吉米株式会社
- 当前专利权人: 福吉米株式会社
- 当前专利权人地址: 日本爱知县
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 李茂家
- 优先权: 2013-032464 2013.02.21 JP
- 国际申请: PCT/JP2014/053540 2014.02.14
- 国际公布: WO2014/129408 JA 2014.08.28
- 进入国家日期: 2015-08-21
- 主分类号: C09K3/14
- IPC分类号: C09K3/14 ; B24B37/00 ; H01L21/304
摘要:
提供一种包含磨粒、水溶性聚合物和水的研磨用组合物。上述水溶性聚合物包含:根据规定的吸附比测定得到的吸附比小于5%的聚合物A、和该吸附比为5%以上且小于95%的聚合物B。此处,上述聚合物B选自羟乙基纤维素以外的聚合物。
公开/授权文献
- CN105073941B 研磨用组合物及研磨物制造方法 公开/授权日:2018-01-30