一种用于湿法刻蚀的清洁系统
摘要:
本发明涉及显示技术领域,具体涉及一种用于湿法刻蚀的清洁系统。该清洁系统包括清洁单元以及依次连通的刻蚀区间、缓冲区间及清洗区间;在所述清洗区间的入口设有气刀单元,所述清洁单元与所述气刀单元对应设置,用于清洗所述气刀单元。该清洁系统通过清洁单元有效地去除附着在气刀刀口及周边的刻蚀液结晶和灰尘颗粒;该清洁系统能够代替人工对气刀的清洁,提高设备的稼动率,且在确保清洁效果的同时,最大限度的减少人力浪费,同时能避免因长时间打开设备腔室而造成设备内颗粒增加,影响产品的良率。
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