发明公开
CN105080877A 一种用于湿法刻蚀的清洁系统
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种用于湿法刻蚀的清洁系统
- 专利标题(英): Cleaning system for wet etching
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申请号: CN201510325938.5申请日: 2015-06-11
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公开(公告)号: CN105080877A公开(公告)日: 2015-11-25
- 发明人: 刘小宁 , 郑载润 , 王世凯 , 金童燮 , 耿军 , 李登涛 , 梁渲祺 , 黄腾飞
- 申请人: 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市新站区工业园内
- 专利权人: 合肥鑫晟光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人: 合肥鑫晟光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市新站区工业园内
- 代理机构: 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 郝瑞刚
- 主分类号: B08B3/02
- IPC分类号: B08B3/02 ; B08B5/02
摘要:
本发明涉及显示技术领域,具体涉及一种用于湿法刻蚀的清洁系统。该清洁系统包括清洁单元以及依次连通的刻蚀区间、缓冲区间及清洗区间;在所述清洗区间的入口设有气刀单元,所述清洁单元与所述气刀单元对应设置,用于清洗所述气刀单元。该清洁系统通过清洁单元有效地去除附着在气刀刀口及周边的刻蚀液结晶和灰尘颗粒;该清洁系统能够代替人工对气刀的清洁,提高设备的稼动率,且在确保清洁效果的同时,最大限度的减少人力浪费,同时能避免因长时间打开设备腔室而造成设备内颗粒增加,影响产品的良率。
IPC分类: