发明授权
- 专利标题: 实时快速检测晶片基底二维形貌的装置
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申请号: CN201410189094.1申请日: 2014-05-06
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公开(公告)号: CN105091787B公开(公告)日: 2018-01-16
- 发明人: 刘健鹏 , 马铁中 , 王林梓 , 严冬
- 申请人: 北京智朗芯光科技有限公司
- 申请人地址: 北京市昌平区昌平路97号新元科技园B座503室
- 专利权人: 北京智朗芯光科技有限公司
- 当前专利权人: 南昌昂坤半导体设备有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区昌平路97号新元科技园B座503室
- 代理机构: 北京华沛德权律师事务所
- 代理商 刘杰
- 主分类号: G01B11/245
- IPC分类号: G01B11/245
摘要:
本发明公开了一种实时快速检测晶片基底二维形貌的装置,属于半导体材料无损检测技术领域。该装置包括N个PSD,N束激光和第一分光元件,N束激光沿直线排布,其中,N为3以上的自然数,N个PSD与N束激光一一对应,N束激光首先射向第一分光元件,经过第一分光元件后形成入射光,入射光入射到晶片基底上,并在晶片基底上沿径向形成N个入射点,入射光被基底反射后形成N束第一种反射光束,各第一种反射光束经过第一分光元件透射后,入射到与N束激光相对应的PSD上,形成N个光斑。该装置能够与高速旋转的石墨盘上的蓝宝石基底相适应。
公开/授权文献
- CN105091787A 实时快速检测晶片基底二维形貌的装置 公开/授权日:2015-11-25