- 专利标题: 一种用于MASSON快速热处理机台的温度校准的方法
-
申请号: CN201410187232.2申请日: 2014-05-05
-
公开(公告)号: CN105097420B公开(公告)日: 2018-01-26
- 发明人: 谭秀文 , 雷声宏
- 申请人: 无锡华润上华科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
- 专利权人: 无锡华润上华科技有限公司
- 当前专利权人: 无锡华润上华科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
- 代理机构: 北京市磐华律师事务所
- 代理商 汪洋; 刘明霞
- 主分类号: H01L21/00
- IPC分类号: H01L21/00 ; H01L21/66
摘要:
公开一种用于MASSON快速热处理机台的温度校准的方法。其包括:提供具有第一高温计的参考机台、具有第二高温计的待校准机台和具有热电偶的校准基片;将校准基片置于参考机台内;在预定热处理菜单下对校准基片进行热处理,通过热电偶测量校准基片的第一温度曲线;将校准基片置于待校准机台内,并将预定热处理菜单复制到待校准机台,在待校准机台内在预定热处理菜单下对校准基片进行热处理;在待校准机台的校温菜单内根据第二高温计和热电偶测得的温度曲线绘制校温曲线;在待校准机台的调节菜单内调整校温曲线的偏移量,使热电偶测量的校准基片的第二温度曲线与第一温度曲线在主工艺阶段匹配,得到校准后的热处理菜单。该方法效率高成本低。
公开/授权文献
- CN105097420A 一种用于MASSON快速热处理机台的温度校准的方法 公开/授权日:2015-11-25
IPC分类: