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CN105190854B 用于形成金属氧化物膜的涂布液、金属氧化物膜、场效应晶体管和制造场效应晶体管的方法 有权

用于形成金属氧化物膜的涂布液、金属氧化物膜、场效应晶体管和制造场效应晶体管的方法
摘要：
提供用于形成金属氧化物膜的涂布液，其含有：铟化合物；选自镁化合物、钙化合物、锶化合物、和钡化合物的至少一种；选自含有其氧化数的最大正值为IV的金属的化合物、含有其氧化数的最大正值为V的金属的化合物，和含有其氧化数的最大正值为VI的金属的化合物的至少一种；以及有机溶剂。
摘要（英）：

To provide a coating liquid for forming a metal oxide film, containing: an indium compound; at least one selected from the group consisting of a magnesium compound, a calcium compound, a strontium compound, and a barium compound; at least one selected from the group consisting of a compound containing a metal a maximum positive value of an oxidation number of which is IV, a compound containing a metal a maximum positive value of an oxidation number of which is V, and a compound containing a metal a maximum positive value of an oxidation number of which is VI; and an organic solvent.

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