• 专利标题: 外延生长的具有垂直相界的铌酸钾钠-锆酸钡-钛酸铋钠无铅压电薄膜的制备方法
  • 专利标题(英): Preparation method of epitaxial-growth potassium-sodium niobate-barium zirconate-sodium bismuth titanate lead-free piezoelectric thin film having vertical phase boundary
  • 申请号: CN201510556092.6
    申请日: 2015-09-02
  • 公开(公告)号: CN105200404A
    公开(公告)日: 2015-12-30
  • 发明人: 王玲艳任巍陈文赵金燕刘明
  • 申请人: 西安交通大学
  • 申请人地址: 陕西省西安市咸宁西路28号
  • 专利权人: 西安交通大学
  • 当前专利权人: 西安交通大学
  • 当前专利权人地址: 陕西省西安市咸宁西路28号
  • 代理机构: 西安通大专利代理有限责任公司
  • 代理商 徐文权
  • 主分类号: C23C20/08
  • IPC分类号: C23C20/08
外延生长的具有垂直相界的铌酸钾钠-锆酸钡-钛酸铋钠无铅压电薄膜的制备方法
摘要:
本发明提供一种外延生长的具有垂直相界的铌酸钾钠-锆酸钡-钛酸铋钠无铅压电薄膜的制备方法,采用化学溶液沉积工艺,以KNN-BZ-BNT先驱体溶液,通过乙酸锰、乙酸钴和氯化亚铁等掺杂降低薄膜中的漏电流密度,提高KNN-BZ-BNT薄膜的电学性能,采用旋转涂覆工艺沉积在(100)、(110)、(111)三种不同取向的单晶SrTiO3衬底、(100)取向的单晶LaAlO3和(100)取向的单晶SrRuO3衬底上,热处理后得到致密无裂纹且具有外延特性的单层单晶薄膜。多次重复旋涂-热处理工艺后得到厚度为100~600nm的外延生长的具有垂直相界的KNN-BZ-BNT无铅压电薄膜。
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