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CN105209973B 可溶性金属氧化物羧酸盐的旋涂组合物及其使用方法 有权 转让

可溶性金属氧化物羧酸盐的旋涂组合物及其使用方法
摘要：
本公开涉及含有至少一种金属氧化物二羧酸盐和该金属氧化物二羧酸盐可溶于其中或在其中胶体稳定的有机溶剂的旋涂组合物。该二羧酸盐能够在热处理过程中分解以提供固化的金属氧化物膜。本公开还涉及使用该旋涂组合物的方法。
摘要（英）：

The present disclosure relates to spin-on compositions containing at least one metal oxide dicarboxylate and an organic solvent into which the metal oxide dicarboxylate is soluble or colloidally stable. The dicarboxylate is capable of decomposing during heat treatment to give a cured metal oxide film. The present disclosure also relates to method of using the spin-on compositions.

公开/授权文献
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