公开(公告)号：CN105209973B

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：CN201480026104.8

申请日：2014-06-26

申请人： AZ电子材料卢森堡有限公司

发明人： M·D·拉赫曼 ,  V·G·R·查达 ,  姚晖蓉 ,  C·安亚蒂格伍 ,  D·麦克肯兹

IPC分类号： G03F7/09 ,  H01L21/027

摘要： 本公开涉及含有至少一种金属氧化物二羧酸盐和该金属氧化物二羧酸盐可溶于其中或在其中胶体稳定的有机溶剂的旋涂组合物。该二羧酸盐能够在热处理过程中分解以提供固化的金属氧化物膜。本公开还涉及使用该旋涂组合物的方法。

公开(公告)号：CN105209973A

公开(公告)日：2015-12-30

申请号：CN201480026104.8

申请日：2014-06-26

申请人： AZ电子材料卢森堡有限公司

发明人： M·D·拉赫曼 ,  V·G·R·查达 ,  姚晖蓉 ,  C·安亚蒂格伍 ,  D·麦克肯兹

IPC分类号： G03F7/09 ,  H01L21/027

摘要： 本公开涉及含有至少一种金属氧化物二羧酸盐和该金属氧化物二羧酸盐可溶于其中或在其中胶体稳定的有机溶剂的旋涂组合物。该二羧酸盐能够在热处理过程中分解以提供固化的金属氧化物膜。本公开还涉及使用该旋涂组合物的方法。

公开(公告)号：CN108139673A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680057594.7

申请日：2016-12-20

申请人： AZ电子材料卢森堡有限公司

发明人： 姚晖蓉 ,  M·D·拉赫曼 ,  D·麦肯齐 ,  J·赵

IPC分类号： G03F7/09 ,  C09D1/00 ,  C09D5/00

摘要： 具有高金属含量的组合物，其包含金属盐溶液、稳定剂和一种或多种任选的添加剂，其中所述金属盐溶液包含金属离子、抗衡离子和溶剂。所述组合物可用于在制造固态和集成电路器件中在基底上形成膜。