本发明公开一种精密研磨用碳化硅粉体的制备方法，包括以下步骤：步骤一、取碳化硅原料，粉碎；步骤二、向步骤一得到的粉碎后的碳化硅粉体中加入纯水和助磨剂，置于卧式球磨机内进行整形处理；然后用纯水洗涤；步骤三、向步骤二得到的料浆中加入硫酸进行酸洗提纯，然后再次用纯水洗涤；步骤四、将步骤三得到的料浆进行溢流分级，分级过程控制碳化硅粒度D3与D94，使堆积密度为1‑1.5，分级完成后烘干，混筛，过筛网，即得到精密研磨用碳化硅粉体。本发明能够有效改善碳化硅粉体粒形尖锐、集中度差、堆积密度低等缺点，减少碳化硅粉体对研磨体的划伤，提高其作为精密研磨材料的品质和性能，且工艺简单，容易控制，易于实现工业化生产。