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微机械结构及其制作方法
摘要:
一种微机械结构,其包括衬底和布置在衬底处的功能性结构。功能性结构包括功能性区域,功能性区域配置为响应于作用在功能性区域上的力而相对于衬底偏转。功能性结构包括传导性基础层并且功能性结构包括具有布置在传导性基础层处并且仅在功能性区域处部分地覆盖传导性基础层的固化结构材料的固化结构。固化结构材料包括硅材料以及至少碳材料。
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