发明公开
CN105314590A 微机械结构及其制作方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 微机械结构及其制作方法
- 专利标题(英): Micromechanical structure and method for fabricating same
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申请号: CN201510455584.6申请日: 2015-07-29
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公开(公告)号: CN105314590A公开(公告)日: 2016-02-10
- 发明人: U·施密德 , T·弗里施穆斯 , P·伊尔西格勒 , T·格里勒 , D·莫勒 , U·赫德尼格 , M·卡恩 , G·德尼弗尔
- 申请人: 英飞凌科技股份有限公司
- 申请人地址: 德国诺伊比贝尔格
- 专利权人: 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人: 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 德国诺伊比贝尔格
- 代理机构: 北京市金杜律师事务所
- 代理商 郑立柱; 张昊
- 优先权: 14/448,767 2014.07.31 US
- 主分类号: B81B7/02
- IPC分类号: B81B7/02 ; B81C1/00
摘要:
一种微机械结构,其包括衬底和布置在衬底处的功能性结构。功能性结构包括功能性区域,功能性区域配置为响应于作用在功能性区域上的力而相对于衬底偏转。功能性结构包括传导性基础层并且功能性结构包括具有布置在传导性基础层处并且仅在功能性区域处部分地覆盖传导性基础层的固化结构材料的固化结构。固化结构材料包括硅材料以及至少碳材料。
公开/授权文献
- CN105314590B 微机械结构及其制作方法 公开/授权日:2017-06-16