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具有气体供应的蒸发装置
摘要:
描述了一种用于在由滚筒(170)支撑的基板(160)上沉积材料的蒸发装置(100)。所述蒸发装置包括:第一组蒸发坩埚(110),所述第一组蒸发坩埚在沿第一方向(121)的第一线(120)上对齐,并且用于将经蒸发的材料沉积在所述基板上;第一气体供应管道(130),所述第一气体供应管道在所述第一方向(121)上延伸,并且布置在所述第一组蒸发坩埚(110)中的至少一个蒸发坩埚与所述滚筒(170)之间;以及第二气体供应管道(140),所述第二气体供应管道在所述第一方向(121)上延伸,并且用于利用开口(150)在所述第一组蒸发坩埚(110)与所述滚筒(170)之间提供气体,所述开口经成形并定位以改善材料沉积的均匀性。
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