发明授权
CN105378136B 具有气体供应的蒸发装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 具有气体供应的蒸发装置
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申请号: CN201480038710.1申请日: 2014-06-26
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公开(公告)号: CN105378136B公开(公告)日: 2018-11-02
- 发明人: G·霍夫曼 , S·施拉姆 , R·特拉斯尔
- 申请人: 应用材料公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 黄嵩泉
- 优先权: 13174290.0 2013.06.28 EP
- 国际申请: PCT/EP2014/063488 2014.06.26
- 国际公布: WO2014/207088 EN 2014.12.31
- 进入国家日期: 2016-01-06
- 主分类号: C23C14/00
- IPC分类号: C23C14/00 ; C23C14/24 ; C23C14/56 ; C23C14/08 ; H01J37/32
摘要:
描述了一种用于在由滚筒(170)支撑的基板(160)上沉积材料的蒸发装置(100)。所述蒸发装置包括:第一组蒸发坩埚(110),所述第一组蒸发坩埚在沿第一方向(121)的第一线(120)上对齐,并且用于将经蒸发的材料沉积在所述基板上;第一气体供应管道(130),所述第一气体供应管道在所述第一方向(121)上延伸,并且布置在所述第一组蒸发坩埚(110)中的至少一个蒸发坩埚与所述滚筒(170)之间;以及第二气体供应管道(140),所述第二气体供应管道在所述第一方向(121)上延伸,并且用于利用开口(150)在所述第一组蒸发坩埚(110)与所述滚筒(170)之间提供气体,所述开口经成形并定位以改善材料沉积的均匀性。
公开/授权文献
- CN105378136A 具有气体供应的蒸发装置 公开/授权日:2016-03-02
IPC分类: