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公开(公告)号：CN108759513A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810570186.2
申请日：2011-12-09
申请人： 应用材料公司
CPC分类号： F25B39/02 , F28D7/0008 , F28D2021/0028 , F28F1/00 , F28F13/10
摘要： 本发明描述了用于冷却加热管的热交换器，所述热交换器包含：至少两个冷却管，其中所述至少两个冷却管被布置以使得所述至少两个冷却管的每个冷却管被配置以与加热管热接触；和用于产生气雾剂的装置，所述装置被配置以在至少两个冷却管中提供气雾剂。
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公开(公告)号：CN103988039A
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201180075395.6
申请日：2011-12-09
申请人： 应用材料公司
CPC分类号： F25B39/02 , F28D7/0008 , F28D2021/0028 , F28F1/00 , F28F13/10
摘要： 本发明描述了用于冷却加热管的热交换器，所述热交换器包含：至少两个冷却管，其中所述至少两个冷却管被布置以使得所述至少两个冷却管的每个冷却管被配置以与加热管热接触；和用于产生气雾剂的装置，所述装置被配置以在至少两个冷却管中提供气雾剂。
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公开(公告)号：CN102165091B
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN200980139115.6
申请日：2009-09-29
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： B01B1/005 , B05D1/60 , B05D2252/02 , C23C14/12 , C23C14/243
摘要： 本发明描述一种用于汽化有机材料的蒸发器。该蒸发器包括第一腔室，该第一腔室具有喷嘴，该喷嘴调适成导向要涂布的衬底；至少一个第二腔室，用于汽化有机材料；至少一个蒸汽通道，用于将汽化的有机材料自该至少一个第二腔室引导至该第一腔室；其中该第一腔室调适成将汽化的有机材料提供给该喷嘴，该喷嘴对应于第一实质升华表面，且该至少一个第二腔室调适成在操作期间提供第二升华表面区域，其中该第二升华表面区域对应于该第一实质升华表面的至少70％。
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公开(公告)号：CN105378136B
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201480038710.1
申请日：2014-06-26
申请人： 应用材料公司
摘要： 描述了一种用于在由滚筒(170)支撑的基板(160)上沉积材料的蒸发装置(100)。所述蒸发装置包括：第一组蒸发坩埚(110)，所述第一组蒸发坩埚在沿第一方向(121)的第一线(120)上对齐，并且用于将经蒸发的材料沉积在所述基板上；第一气体供应管道(130)，所述第一气体供应管道在所述第一方向(121)上延伸，并且布置在所述第一组蒸发坩埚(110)中的至少一个蒸发坩埚与所述滚筒(170)之间；以及第二气体供应管道(140)，所述第二气体供应管道在所述第一方向(121)上延伸，并且用于利用开口(150)在所述第一组蒸发坩埚(110)与所述滚筒(170)之间提供气体，所述开口经成形并定位以改善材料沉积的均匀性。
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公开(公告)号：CN103502502B
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201180070470.X
申请日：2011-04-29
申请人： 应用材料公司
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/0021 , C23C14/562 , C23C14/564
摘要： 描述了被配置成用于具有多个间隔开的坩埚120的反应沉积工艺的气体喷枪单元，其中在所述坩埚之间提供间隔。气体喷枪单元包括气体导管130和冷凝液导向元件140，所述气体导管130具有用于为反应沉积工艺提供气体4的一个或多个出口30，所述冷凝液导向元件140用于导向尤其是铝冷凝液的冷凝液至间隔之上的一个或多个位置。
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公开(公告)号：CN103502506B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201180070477.1
申请日：2011-04-29
申请人： 应用材料公司
CPC分类号： C23C16/403 , C23C14/20 , C23C14/562 , C23C14/5853
摘要： 一种用于钝化柔性基板的涂层的装置包括涂敷腔室、腔室分隔元件、涂敷滚筒和进气口，所述涂敷腔室用于涂敷柔性基板，所述腔室分隔元件设置用于分隔所述涂敷腔室与另一腔室，所述涂敷滚筒和所述腔室分隔元件形成一缝隙，所述进气口设置在所述腔室分隔元件内，用于供应氧气进入所述缝隙内。
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公开(公告)号：CN105378136A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201480038710.1
申请日：2014-06-26
申请人： 应用材料公司
CPC分类号： C23C16/448 , C23C14/0021 , C23C14/081 , C23C14/24 , C23C14/243 , C23C14/562
摘要： 描述了一种用于在由滚筒(170)支撑的基板(160)上沉积材料的蒸发装置(100)。所述蒸发装置包括：第一组蒸发坩埚(110)，所述第一组蒸发坩埚在沿第一方向(121)的第一线(120)上对齐，并且用于将经蒸发的材料沉积在所述基板上；第一气体供应管道(130)，所述第一气体供应管道在所述第一方向(121)上延伸，并且布置在所述第一组蒸发坩埚(110)中的至少一个蒸发坩埚与所述滚筒(170)之间；以及第二气体供应管道(140)，所述第二气体供应管道在所述第一方向(121)上延伸，并且用于利用开口(150)在所述第一组蒸发坩埚(110)与所述滚筒(170)之间提供气体，所述开口经成形并定位以改善材料沉积的均匀性。
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公开(公告)号：CN103827179A
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201180072080.6
申请日：2011-07-05
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： C08J3/28
CPC分类号： C08J3/28 , C08J2300/00 , C08J2323/00 , C08J2367/00 , C08J2377/00
摘要： 一种处理柔性基板的方法包括以下步骤：提供具有聚合表面的柔性基板；发射电子束；将所述聚合表面暴露于所述电子束；经由将所述聚合表面暴露于所述电子束而修改所述聚合表面；以及将阻挡层沉积在经修改的表面上。
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公开(公告)号：CN103502506A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201180070477.1
申请日：2011-04-29
申请人： 应用材料公司
CPC分类号： C23C16/403 , C23C14/20 , C23C14/562 , C23C14/5853
摘要： 一种用于钝化柔性基板的涂层的装置包括涂敷腔室、腔室分隔元件、涂敷滚筒和进气口，所述涂敷腔室用于涂敷柔性基板，所述腔室分隔元件设置用于分隔所述涂敷腔室与另一腔室，所述涂敷滚筒和所述腔室分隔元件形成一缝隙，所述进气口设置在所述腔室分隔元件内，用于供应氧气进入所述缝隙内。
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