发明公开
- 专利标题: 半导体装置
- 专利标题(英): Semiconductor device
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申请号: CN201480040051.5申请日: 2014-07-02
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公开(公告)号: CN105409006A公开(公告)日: 2016-03-16
- 发明人: 山下胜重 , 西村兼一 , 山本敦也 , 青木成刚
- 申请人: 松下知识产权经营株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 松下知识产权经营株式会社
- 当前专利权人: 松下半导体解决方案株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 徐殿军
- 优先权: 2013-147245 2013.07.16 JP
- 国际申请: PCT/JP2014/003528 2014.07.02
- 国际公布: WO2015/008444 JA 2015.01.22
- 进入国家日期: 2016-01-14
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L21/28 ; H01L21/329 ; H01L21/331 ; H01L21/336 ; H01L29/41 ; H01L29/417 ; H01L29/423 ; H01L29/47 ; H01L29/49 ; H01L29/73 ; H01L29/732 ; H01L29/861 ; H01L29/868 ; H01L29/872
摘要:
半导体装置具有:硅基板,具有包含第一导电型杂质的高浓度层;低浓度成,形成在高浓度层之上,包含第一导电型杂质;第一电极以及第二电极,形成在低浓度层之上;纵型半导体元件,在第二电极与高浓度层之间流过电流;以及第一沟槽部,使第一电极与高浓度层之间电导通。第一沟槽部具有包含第一导电型的杂质的第一多晶硅、和在平面视图中包围第一多晶硅的含有第一导电型杂质的扩散层。第一多晶硅形成为将低浓度层贯通并到达高浓度层,第一多晶硅和扩散层的第一导电型杂质浓度在从低浓度层至高浓度层的方向上是一定的。
公开/授权文献
- CN105409006B 半导体装置 公开/授权日:2019-02-19
IPC分类: