- 专利标题: 电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe3Si薄膜的工艺
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申请号: CN201510905584.1申请日: 2015-12-10
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公开(公告)号: CN105441877B公开(公告)日: 2018-02-23
- 发明人: 谢泉 , 谢晶 , 刘栋 , 高赐国 , 张晋敏 , 肖清泉 , 陈茜 , 廖杨芳 , 范梦慧 , 黄晋
- 申请人: 贵州大学
- 申请人地址: 贵州省贵阳市贵州大学花溪北校区科技处
- 专利权人: 贵州大学
- 当前专利权人: 贵州大学
- 当前专利权人地址: 贵州省贵阳市贵州大学花溪北校区科技处
- 代理机构: 贵阳中新专利商标事务所
- 代理商 吴无惧
- 主分类号: C23C14/26
- IPC分类号: C23C14/26 ; C23C14/16 ; C23C14/58
摘要:
本发明公开了一种电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe3Si薄膜的工艺,其特征在于:它包括下述步骤:第一步骤,选取耐高温石英片和单晶Si片作衬底,清洗吹干;第二步骤,将铁颗粒和硅颗粒按不同配比进行备料;第三步骤,按上述步骤得到的不同配比镀料,在衬底上蒸镀一层Fe‑Si混合薄膜;第四步骤,将上述步骤得到的样品放置于高真空热处理炉中800~900℃退火2小时获得Fe‑Si化合物中的金属相Fe3Si铁磁性薄膜。
公开/授权文献
- CN105441877A 电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe3Si薄膜的工艺 公开/授权日:2016-03-30