电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe3Si薄膜的工艺
摘要:
本发明公开了一种电阻式热蒸发制备铁磁性材料Fe3Si薄膜的工艺,其特征在于:它包括下述步骤:第一步骤,选取耐高温石英片和单晶Si片作衬底,清洗吹干;第二步骤,将铁颗粒和硅颗粒按不同配比进行备料;第三步骤,按上述步骤得到的不同配比镀料,在衬底上蒸镀一层Fe‑Si混合薄膜;第四步骤,将上述步骤得到的样品放置于高真空热处理炉中800~900℃退火2小时获得Fe‑Si化合物中的金属相Fe3Si铁磁性薄膜。
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