发明公开
- 专利标题: 用于蒸镀的加热装置和蒸镀设备
- 专利标题(英): Heating device for evaporation and evaporation equipment
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申请号: CN201610005830.2申请日: 2016-01-05
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公开(公告)号: CN105441878A公开(公告)日: 2016-03-30
- 发明人: 黄俊淞 , 刘晓云 , 叶岚凯
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,合肥鑫晟光电科技有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,合肥鑫晟光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京中博世达专利商标代理有限公司
- 代理商 申健
- 主分类号: C23C14/26
- IPC分类号: C23C14/26 ; C23C14/54 ; C23C14/12
摘要:
本发明公开了一种用于蒸镀的加热装置和蒸镀设备,涉及显示装置制作领域,能够解决现有蒸镀设备加热不均,蒸镀材料易喷射、易发生性能劣化,蒸镀镀率调整时不宜稳定的问题。本发明提供的用于蒸镀的加热装置,包括:坩埚,用于盛装蒸镀原料;可移动加热单元,设置于所述坩埚的外部且蒸镀时高于蒸镀原料;称重传感装置,设置于所述坩埚的下方,用于称重所述坩埚及坩埚内蒸镀原料的重量并输出;控制器,用于接收所述称重传感装置的输出,根据所述坩埚及坩埚内蒸镀原料的重量计算所述坩埚内蒸镀原料的液位高度,并根据所述液位高度控制所述可移动加热单元到所述蒸镀原料的高度。
公开/授权文献
- CN105441878B 用于蒸镀的加热装置和蒸镀设备 公开/授权日:2018-12-21