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公开(公告)号：CN111477755B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202010326693.9
申请日：2020-04-23
申请人： 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
摘要： 本发明提供一种有机发光二极管器件及其制作方法、和显示面板，其中，有机发光二极管器件包括第一电极、第二电极、位于所述第一电极和所述第二电极之间的有机发光层、以及位于所述有机发光层和所述第一电极之间的接触层，所述接触层包括与所述第一电极连接的活泼金属层。本发明提供的有机发光二极管器件及其制作方法、和显示面板，能够提高有机发光二极管的发光效率与寿命。
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公开(公告)号：CN105441878A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201610005830.2
申请日：2016-01-05
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
CPC分类号： C23C14/543 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/54 , C23C14/541
摘要： 本发明公开了一种用于蒸镀的加热装置和蒸镀设备，涉及显示装置制作领域，能够解决现有蒸镀设备加热不均，蒸镀材料易喷射、易发生性能劣化，蒸镀镀率调整时不宜稳定的问题。本发明提供的用于蒸镀的加热装置，包括：坩埚，用于盛装蒸镀原料；可移动加热单元，设置于所述坩埚的外部且蒸镀时高于蒸镀原料；称重传感装置，设置于所述坩埚的下方，用于称重所述坩埚及坩埚内蒸镀原料的重量并输出；控制器，用于接收所述称重传感装置的输出，根据所述坩埚及坩埚内蒸镀原料的重量计算所述坩埚内蒸镀原料的液位高度，并根据所述液位高度控制所述可移动加热单元到所述蒸镀原料的高度。
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公开(公告)号：CN109097739B
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN201810871498.7
申请日：2018-08-02
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
IPC分类号： C23C14/24
摘要： 本发明公开了一种防着板及蒸镀设备，涉及蒸镀技术领域，可解决相关技术中的防着板因对蒸镀材料的粘附量较小而影响产品生产效率的问题。该防着板包括本体，所述本体内设有空腔，所述空腔连通所述本体用于粘附蒸镀材料的外表面，所述空腔的内表面用于粘附所述蒸镀材料。本发明用于阻挡蒸镀材料粘附到蒸镀腔室的腔壁上。
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公开(公告)号：CN105177510A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510688878.3
申请日：2015-10-21
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/24 , C23C14/542 , C23C14/548 , H01L51/001
摘要： 本发明是关于一种蒸镀设备及蒸镀方法，属于真空蒸镀技术领域。所述蒸镀设备包括：基板、蒸镀腔及波纹管；所述蒸镀腔内设置有蒸镀源，所述蒸镀腔的侧壁设置有两个限制板；所述基板设置于所述蒸镀源的正上方，所述波纹管设置于所述蒸镀腔的底部。本发明在蒸镀腔的底部设置波纹管，通过波纹管的转动带动蒸镀腔上下移动，从而改变蒸镀源与限制板之间的相对高度，无需对蒸镀设备进行改造，即可满足不同有机材料的蒸镀条件，不仅明显地提高了设备灵活性，而且节省了时间及资源消耗。
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公开(公告)号：CN104109834A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201410277208.8
申请日：2014-06-19
申请人： 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
摘要： 本发明涉及蒸镀设备技术领域，公开了一种蒸镀机的蒸发源装置及一种蒸镀机。本发明的蒸镀机的蒸发源装置，包括：坩埚；所述坩埚的坩埚槽内设置有至少一个沿第一方向的第一导热隔板，每个所述第一导热隔板连接于所述坩埚的坩埚壁上；所述坩埚的坩埚槽内设置有至少一个沿第二方向且与每个所述第一导热隔板固定连接的第二导热隔板，每个所述第二导热隔板连接于所述坩埚的坩埚壁上。采用本发明技术方案，可以使得热量在蒸镀材料中的传递路径缩短，热量在蒸镀材料中均匀传递，进而提高了有机材料蒸镀的热稳定性，以保持镀率的稳定及提高有机材料蒸镀的良率。
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公开(公告)号：CN110777334A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201911198154.5
申请日：2019-11-29
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种蒸发源及真空蒸镀系统，属于显示技术领域。该蒸发源包括：腔体，设置在腔体内的坩埚和驱动组件，以及加热组件；其中，坩埚为可伸缩结构，用于放置蒸镀材料；该腔体的一侧设置有出气孔，该驱动组件位于坩埚远离出气孔的一侧，驱动组件用于驱动坩埚朝靠近出气孔的一侧收缩；该加热组件用于加热蒸镀材料。由于本申请中坩埚为可伸缩结构，该驱动组件可以驱动坩埚朝靠近出气孔的一侧收缩。因此在坩埚内的蒸镀材料逐渐减少的过程中，该蒸镀材料与出气孔的距离能够始终保持在较小的范围内，无需增加加热温度即可确保蒸镀材料的沉积速率保持稳定，进而避免了温度过高影响在基板上形成的膜层的品质。
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公开(公告)号：CN107587111A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201710922695.2
申请日：2017-09-30
申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种蒸镀设备，以降低蒸镀生产成本，提高蒸镀品质和蒸镀生产效率。蒸镀设备包括：在水平面内拼接的多个蒸镀腔单元；每个蒸镀腔单元所连接的承载架，位于蒸镀腔单元的下方；每个承载架所连接的第一支撑杆，沿第一水平方向设置；第一驱动机构，与各个第一支撑杆的同一侧端部连接，并能够驱动第一支撑杆沿第一水平方向、第二水平方向及高度方向移动，其中，第二水平方向与所述第一水平方向正交。
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公开(公告)号：CN104404451A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201410784050.3
申请日：2014-12-16
申请人： 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号： C23C14/24
摘要： 本发明公开了一种蒸镀源和蒸镀装置。所述蒸镀源内设置有沿其长度方向分布的加热件，所述加热件包括多个串联的加热部，对应于所述蒸镀源的长度方向的两端位置的加热部的热功率大于对应于所述蒸镀源的长度方向的中间位置的加热部的热功率。本发明中设置在蒸镀源两端位置的加热部的热功率比设置在中间位置的加热部的热功率大，因此能够补偿蒸镀源两端的热量散失，使蒸镀源内的温度分布更加均匀，从而使蒸镀材料的消耗速率更均匀，延长了蒸镀源的使用周期。
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公开(公告)号：CN109112488B
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN201811230434.5
申请日：2018-10-22
申请人： 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
摘要： 本发明提供一种蒸镀源、蒸镀装置，属于蒸镀技术领域，其可解决现有的坩埚难以从蒸镀容纳室中取出的问题。本发明的蒸镀源包括：蒸镀容纳室，其内部为中空结构；蒸镀本体，其设置在所述中空结构内；支撑组件，其设置在所述中空结构的底面上，用于支撑所述蒸镀本体，以将所述蒸镀本体的底部与所述中空结构的底面分离。
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公开(公告)号：CN104391427B
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201410789147.3
申请日：2014-12-17
申请人： 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种掩模板检测装置及方法、掩模板清洗装置，通过设置用于对掩模板进行残留物检测并生成检测信息的检测模块；用于基于检测信息，确定检测结果的控制模块，所述检测结果用于标识所述掩模板的清洁度。从而可自动实现掩模板清洁度的检测，提高掩模板清洗效果检测效率、准确性和安全性。
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