Invention Publication
- Patent Title: 一种半导体存储器件及其制备方法、电子装置
- Patent Title (English): Semiconductor memory device, manufacturing method thereof, and electronic device
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Application No.: CN201410395303.8Application Date: 2014-08-12
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Publication No.: CN105448838APublication Date: 2016-03-30
- Inventor: 杨芸
- Applicant: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区张江路18号
- Assignee: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- Current Assignee: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区张江路18号
- Agency: 北京市磐华律师事务所
- Agent 高伟; 冯永贞
- Main IPC: H01L21/8247
- IPC: H01L21/8247 ; H01L27/115

Abstract:
本发明涉及一种半导体存储器件及其制备方法、电子装置,所述方法包括步骤S1:提供半导体衬底,在所述半导体衬底上形成有栅极结构;步骤S2:在所述栅极结构的侧壁上形成第一间隙壁,并执行LDD注入,以在所述栅极结构两侧的所述半导体衬底中形成LDD区域;步骤S3:去除所述第一间隙壁,露出所述栅极结构;步骤S4:在所述栅极结构的侧壁上形成第二间隙壁,并执行源漏注入,以在所述半导体衬底中形成源漏极。本发明所述方法制备得到的半导体器件的击穿性能得到极大改善,进一步提高了器件的良率。
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