一种半导体存储器件及其制备方法、电子装置
Abstract:
本发明涉及一种半导体存储器件及其制备方法、电子装置,所述方法包括步骤S1:提供半导体衬底,在所述半导体衬底上形成有栅极结构;步骤S2:在所述栅极结构的侧壁上形成第一间隙壁,并执行LDD注入,以在所述栅极结构两侧的所述半导体衬底中形成LDD区域;步骤S3:去除所述第一间隙壁,露出所述栅极结构;步骤S4:在所述栅极结构的侧壁上形成第二间隙壁,并执行源漏注入,以在所述半导体衬底中形成源漏极。本发明所述方法制备得到的半导体器件的击穿性能得到极大改善,进一步提高了器件的良率。
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