图案化基板的断开方法及断开装置
摘要:
提供一种不发生未分离和基板损伤的采用伸展方式的图案化基板的断开方法及断开装置。其是在脆性材料基板的表面形成有电子电路图案的图案化基板的断开方法及装置,包括:激光加工工序(激光加工装置(A)),将图案化基板(W)粘贴于伸展胶带(2),对图案化基板(W)的表面照射激光而形成沿着预定断开线(L)的多个断开起点(5);指定部位断开工序(指定部位断开装置(B)),将需在激光加工工序中形成的断开起点(5)不完全的部分作为指定部位,对该指定部位施加外压而使图案化基板(W)挠曲,使之断开;及伸展断开工序(伸展断开装置(C)),使伸展胶带(2)拉伸而对图案化基板(W)施加拉张应力,将所有的预定断开线(L)断开。
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