发明授权
- 专利标题： 集成检测装置
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申请号： CN201510548269.8申请日： 2015-08-31
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公开(公告)号： CN105466816B公开(公告)日： 2019-11-26
- 发明人: S·洛伊 , A·帕加尼
- 申请人： 意法半导体股份有限公司
- 申请人地址： 意大利阿格拉布里安扎
- 专利权人： 意法半导体股份有限公司
- 当前专利权人： 意法半导体股份有限公司
- 当前专利权人地址： 意大利阿格拉布里安扎
- 代理机构： 北京市金杜律师事务所
- 代理商 王茂华; 董典红
- 主分类号： G01N15/00
- IPC分类号： G01N15/00
摘要：
本申请涉及集成检测装置。该检测装置形成在具有第一面、第二面和腔的半导体材料的本体中。检测区域形成在腔中，并且气泵集成在本体中并且被配置成迫使气体朝向检测区域运动。光学型检测系统或者阿尔法粒子检测器至少部分地布置在检测区域中。
公开/授权文献
- CN105466816A 集成检测装置 公开/授权日：2016-04-06