Invention Publication
- Patent Title: 具有源极/漏极的半导体器件及其制造方法
- Patent Title (English): Semiconductor devices having source/drain and method of fabricating the same
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Application No.: CN201510622878.3Application Date: 2015-09-25
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Publication No.: CN105470305APublication Date: 2016-04-06
- Inventor: 杨昌宰 , 前田茂伸 , 金昶和 , 崔永文
- Applicant: 三星电子株式会社
- Applicant Address: 韩国京畿道
- Assignee: 三星电子株式会社
- Current Assignee: 三星电子株式会社
- Current Assignee Address: 韩国京畿道
- Agency: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- Agent 张帆; 张青
- Priority: 10-2014-0130492 2014.09.29 KR
- Main IPC: H01L29/78
- IPC: H01L29/78 ; H01L29/417 ; H01L21/336

Abstract:
本发明公开了一种半导体器件及其制造方法。根据本发明的一个示例实施例,该半导体器件以如下方式提供。有源鳍从衬底突起,沿着一个方向延伸。栅极结构与该有源鳍的第一区域交叉。源极/漏极布置在该有源鳍的第二区域上。该源极/漏极包括上表面及竖直侧表面。竖直侧表面实质上平行于有源鳍的侧表面。
Public/Granted literature
- CN105470305B 具有源极/漏极的半导体器件及其制造方法 Public/Granted day:2019-04-26
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IPC分类: