发明授权
- 专利标题: 接触式探针的校准
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申请号: CN201480047005.8申请日: 2014-06-26
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公开(公告)号: CN105473981B公开(公告)日: 2019-01-01
- 发明人: 戴维·斯文·瓦利亚赛 , 琼·路易斯·格热西亚克
- 申请人: 瑞尼斯豪公司
- 申请人地址: 英国英格兰
- 专利权人: 瑞尼斯豪公司
- 当前专利权人: 瑞尼斯豪公司
- 当前专利权人地址: 英国英格兰
- 代理机构: 北京柏杉松知识产权代理事务所
- 代理商 谢攀; 刘继富
- 优先权: 1311600.9 2013.06.28 GB
- 国际申请: PCT/GB2014/051951 2014.06.26
- 国际公布: WO2014/207470 EN 2014.12.31
- 进入国家日期: 2016-02-25
- 主分类号: G01B21/04
- IPC分类号: G01B21/04
摘要:
本发明涉及一种校准接触式探针的方法,该接触式探针具有接触式元件。该方法包括用该接触式探针测量已校准加工品(100、200、300、400、500)的第一几何性质和该已校准加工品或另一个已校准加工品(100、200、300、400、500)的第二几何性质。第一和第二几何性质使得该测量值与预期值之间的偏差对于该第一和第二几何性质中的每一个具有相反符号,该偏差由接触式元件的有效直径与用于确定测量值的假定直径之间的差异引起。该方法进一步包括识别接触式元件的有效直径与假定直径的差异,其包括针对第一和第二几何性质中的每一个比较测量值与预期值的偏差以确定该偏差是否存在差异。
公开/授权文献
- CN105473981A 接触式探针的校准 公开/授权日:2016-04-06