脉冲直流溅射制备五氧化二铌薄膜的方法
摘要:
一种脉冲直流溅射制备五氧化二铌薄膜的方法,包括如下步骤,提供基板,将基板先进行前处理,然后放入溅射腔室中;及提供靶材,将所述靶材放入溅射腔室中;以及在电源的作用下,采用脉冲直流溅射在基板上溅射制备五氧化二铌薄膜。根据本发明的五氧化二铌薄膜的制备方法,能够以介质材料氧化铌作为靶材,采用脉冲直流溅射在基板上制备五氧化二铌薄膜,极大提高薄膜生长速率,节约时间,且降低薄膜的制备成本。同时制备的五氧化二铌薄膜表面光滑,颗粒尺寸均匀,排列紧密,具有很好的平整性以及致密性。
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