发明公开
CN105506549A 脉冲直流溅射制备五氧化二铌薄膜的方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 脉冲直流溅射制备五氧化二铌薄膜的方法
- 专利标题(英): Method for preparing niobium pentoxide thin film through pulse direct current sputtering
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申请号: CN201511025036.6申请日: 2015-12-30
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公开(公告)号: CN105506549A公开(公告)日: 2016-04-20
- 发明人: 彭寿 , 李刚 , 王芸 , 徐根保 , 蒋继文 , 金克武 , 曹欣 , 张宽翔 , 杨勇 , 姚婷婷
- 申请人: 中国建材国际工程集团有限公司
- 申请人地址: 上海市普陀区中山北路2000号中期大厦27层
- 专利权人: 中国建材国际工程集团有限公司
- 当前专利权人: 中国建材国际工程集团有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市普陀区中山北路2000号中期大厦27层
- 代理机构: 上海硕力知识产权代理事务所
- 代理商 王法男
- 主分类号: C23C14/08
- IPC分类号: C23C14/08 ; C23C14/34
摘要:
一种脉冲直流溅射制备五氧化二铌薄膜的方法,包括如下步骤,提供基板,将基板先进行前处理,然后放入溅射腔室中;及提供靶材,将所述靶材放入溅射腔室中;以及在电源的作用下,采用脉冲直流溅射在基板上溅射制备五氧化二铌薄膜。根据本发明的五氧化二铌薄膜的制备方法,能够以介质材料氧化铌作为靶材,采用脉冲直流溅射在基板上制备五氧化二铌薄膜,极大提高薄膜生长速率,节约时间,且降低薄膜的制备成本。同时制备的五氧化二铌薄膜表面光滑,颗粒尺寸均匀,排列紧密,具有很好的平整性以及致密性。
IPC分类: