- 专利标题: 一种基于光纤谐振腔的倏逝波型光声光谱微量气体传感器及测量方法
- 专利标题(英): Evanescent-wave type photoacoustic spectrum trace gas sensor based on optical fiber resonant cavity and measurement method
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申请号: CN201510990762.5申请日: 2015-12-28
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公开(公告)号: CN105548023A公开(公告)日: 2016-05-04
- 发明人: 马欲飞 , 于欣 , 陈默然 , 李旭东 , 彭江波 , 何应 , 闫仁鹏 , 樊荣伟 , 董志伟 , 李晓晖 , 陈德应
- 申请人: 哈尔滨工业大学
- 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 代理机构: 哈尔滨龙科专利代理有限公司
- 代理商 高媛
- 主分类号: G01N21/17
- IPC分类号: G01N21/17
摘要:
本发明公开了一种基于光纤谐振腔的倏逝波型光声光谱微量气体传感器及测量方法,所述传感器由半导体激光源、光纤合束器、锥形光纤、石英音叉、相位调制器构成,其测量方法如下:步骤一、半导体激光源发射出的激光输入光纤合束器,经相位调制器后使得光纤合束器构成光学谐振腔,光纤内的激光功率得到放大增强,继而使得锥形光纤处产生较强的光学倏逝场;步骤二、待测目标气体吸收锥形光纤处的倏逝波场能量,产生声波场,石英音叉探测声波信号,反演气体浓度。本发明有效地提高了激光激发功率,进而极大地改进了光声光谱气体传感器的探测灵敏度。
公开/授权文献
- CN105548023B 一种基于光纤谐振腔的倏逝波型光声光谱微量气体传感器及测量方法 公开/授权日:2019-04-02