- 专利标题: 基于量子点掺杂栅绝缘层的新型高性能光调制薄膜晶体管
- 专利标题(英): Novel high-performance light modulation thin film transistor based on quantum dot doped gate insulating layer
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申请号: CN201610057614.2申请日: 2016-01-27
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公开(公告)号: CN105552131A公开(公告)日: 2016-05-04
- 发明人: 刘向 , 陶治 , 陈静 , 雷威 , 伊曼纽尔·杰克 , 塔耶·默罕默德
- 申请人: 东南大学
- 申请人地址: 江苏省南京市四牌楼2号
- 专利权人: 东南大学
- 当前专利权人: 东南大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市四牌楼2号
- 代理机构: 南京苏高专利商标事务所
- 代理商 孟红梅
- 主分类号: H01L29/786
- IPC分类号: H01L29/786 ; H01L29/423 ; H01L21/336
摘要:
本发明公开了基于量子点掺杂栅绝缘层的新型高性能光调制薄膜晶体管,其制备方法包括:在基底上依次沉积有源层与源漏极接触层;将量子点与有机光胶旋涂在有源层上,制备栅绝缘层;在栅绝缘层上刻蚀出连接接触层与源漏极的导通孔;最后在栅绝缘层上制备透明电极,并将该透明电极刻蚀做为平面的漏电极,栅电极和源电极。本发明的薄膜晶体管器件除了具备传统的源漏栅三个调制极外还可以通过入射光作为第四端调制极。本发明利用掺杂了量子点的薄膜晶体管栅绝缘层制备出兼具光电探测与信号读取功能的光调制薄膜晶体管,大大简化了光调制薄膜晶体管的结构与制备工艺,缩小了器件的尺度并提高了光电探测的性能。
公开/授权文献
- CN105552131B 基于量子点掺杂栅绝缘层的光调制薄膜晶体管 公开/授权日:2018-12-14
IPC分类: