Invention Grant
- Patent Title: 运送装置以及真空装置
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Application No.: CN201580000910.2Application Date: 2015-09-02
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Publication No.: CN105579201BPublication Date: 2018-03-09
- Inventor: 吉野孝广
- Applicant: 株式会社爱发科
- Applicant Address: 日本神奈川县
- Assignee: 株式会社爱发科
- Current Assignee: 株式会社爱发科
- Current Assignee Address: 日本神奈川县
- Agency: 中国专利代理(香港)有限公司
- Agent 崔幼平; 李婷
- Priority: 2014-178675 2014.09.03 JP
- International Application: PCT/JP2015/075013 2015.09.02
- International Announcement: WO2016/035837 JA 2016.03.10
- Date entered country: 2015-12-02
- Main IPC: B25J9/06
- IPC: B25J9/06 ; H01L21/677
Abstract:
本发明提供一种在能够同时运送一对运送物的运送装置中,使定位作业容易,提高基板运送之际的通过量的技术。本发明具备以旋转轴为中心同心状地配置、并设置成能够在水平面内分别独立地旋转的第1以及第2伸缩驱动轴(11、12),和第1以及第2回转驱动轴(15、16)。第1以及第2运送机构隔着旋转轴配置在运送物运送方向的两侧,被第1以及第2伸缩驱动轴(11、12)驱动而伸缩,将运送物沿着运送物运送方向运送。第1以及第2运送机构通过第1以及第2回转驱动部件(31、32)以旋转轴为中心分别微小地回转。
Public/Granted literature
- CN105579201A 运送装置以及真空装置 Public/Granted day:2016-05-11
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