运送装置以及真空装置
Abstract:
本发明提供一种在能够同时运送一对运送物的运送装置中,使定位作业容易,提高基板运送之际的通过量的技术。本发明具备以旋转轴为中心同心状地配置、并设置成能够在水平面内分别独立地旋转的第1以及第2伸缩驱动轴(11、12),和第1以及第2回转驱动轴(15、16)。第1以及第2运送机构隔着旋转轴配置在运送物运送方向的两侧,被第1以及第2伸缩驱动轴(11、12)驱动而伸缩,将运送物沿着运送物运送方向运送。第1以及第2运送机构通过第1以及第2回转驱动部件(31、32)以旋转轴为中心分别微小地回转。
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