发明公开
- 专利标题: 高速锗/硅雪崩光电二极管
- 专利标题(英): High-Speed Germanium On Silicon Avalanche Photodiode
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申请号: CN201510907071.4申请日: 2015-12-09
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公开(公告)号: CN105720129A公开(公告)日: 2016-06-29
- 发明人: 黄梦园 , 蔡鹏飞 , 王良波 , 栗粟 , 陈旺 , 洪菁吟 , 潘栋
- 申请人: 硅光电科技股份有限公司
- 申请人地址: 开曼群岛大开曼
- 专利权人: 硅光电科技股份有限公司
- 当前专利权人: 硅光电科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 开曼群岛大开曼
- 代理机构: 北京京万通知识产权代理有限公司
- 代理商 许天易
- 优先权: 62/124,174 2014.12.10 US; 14/961,675 2015.12.07 US
- 主分类号: H01L31/107
- IPC分类号: H01L31/107 ; H01L31/028 ; H01L31/18
摘要:
本发明提供一种高速锗/硅(Ge/Si)雪崩光电二极管,可包括衬底层、设于所述衬底层上的底部接触层、设于所述底部接触层上的缓冲层、设于所述缓冲层上的电场控制层、设于所述电场控制层上的雪崩层、设于所述雪崩层上的电荷层、设于所述电荷层上的吸收层和设于所述吸收层上的顶部接触层。所述电场控制层可用于控制所述雪崩层中的电场。
公开/授权文献
- CN105720129B 高速锗/硅雪崩光电二极管 公开/授权日:2018-09-18
IPC分类: