发明公开
CN105729326A 制造化学机械抛光垫的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 制造化学机械抛光垫的方法
- 专利标题(英): METHOD OF MANUFACTURING CHEMICAL MECHANICAL POLISHING PADS
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申请号: CN201510964932.2申请日: 2015-12-21
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公开(公告)号: CN105729326A公开(公告)日: 2016-07-06
- 发明人: F·V·阿赫奥拉 , A·旺克 , M·加萨 , S·章 , J·蔡 , W·A·希申 , J·D·塔特 , L·H·蒋 , S-T·金
- 申请人: 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 , 陶氏环球技术有限责任公司
- 申请人地址: 美国特拉华州
- 专利权人: 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司,陶氏环球技术有限责任公司
- 当前专利权人: 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司,陶氏环球技术有限责任公司
- 当前专利权人地址: 美国特拉华州
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 陈哲锋; 胡嘉倩
- 优先权: 62/097171 2014.12.29 US
- 主分类号: B24D18/00
- IPC分类号: B24D18/00 ; B24B37/20 ; G01N21/59
摘要:
提供一种制造化学机械抛光垫的方法,其中自动检查系统经配置以检测切削薄片的宏观不均匀性并且将所述切削薄片分类成可接受或待检;其中所述可接受切削薄片进一步加工形成化学机械抛光垫的抛光层。
公开/授权文献
- CN105729326B 制造化学机械抛光垫的方法 公开/授权日:2018-03-30