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公开(公告)号：CN105729326B
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201510964932.2
申请日：2015-12-21
申请人： 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 , 陶氏环球技术有限责任公司
摘要： 提供一种制造化学机械抛光垫的方法，其中自动检查系统经配置以检测切削薄片的宏观不均匀性并且将所述切削薄片分类成可接受或待检；其中所述可接受切削薄片进一步加工形成化学机械抛光垫的抛光层。
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公开(公告)号：CN105729296B
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201510965241.4
申请日：2015-12-21
申请人： 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 , 陶氏环球技术有限责任公司
摘要： 提供一种化学机械抛光垫、抛光层分析器，其中所述分析器经配置以检测聚合薄片的宏观不均匀性并且将所述聚合薄片分类成可接受或待检。
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公开(公告)号：CN105729296A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201510965241.4
申请日：2015-12-21
申请人： 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 , 陶氏环球技术有限责任公司
CPC分类号： B24B37/11 , B24B37/22 , B24B37/24 , B24B37/34 , B24D99/00 , G01N21/94 , B24B37/20 , G01N21/31
摘要： 提供一种化学机械抛光垫、抛光层分析器，其中所述分析器经配置以检测聚合薄片的宏观不均匀性并且将所述聚合薄片分类成可接受或待检。
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公开(公告)号：CN105842255B
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201610049405.3
申请日：2016-01-25
申请人： 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 , 陶氏环球技术有限责任公司
IPC分类号： G01N21/958
CPC分类号： B24B37/34 , B24B37/16 , B24B49/12 , G01N21/8422 , G01N21/958
摘要： 提供种抛光层分析器,其中所述分析器经配置以检测聚合薄片中的宏观不均匀性且将所述聚合薄片分类成可接受或待检。
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公开(公告)号：CN105842255A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610049405.3
申请日：2016-01-25
申请人： 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 , 陶氏环球技术有限责任公司
IPC分类号： G01N21/958
CPC分类号： B24B37/34 , B24B37/16 , B24B49/12 , G01N21/8422 , G01N21/958
摘要： 提供一种抛光层分析器，其中所述分析器经配置以检测聚合薄片中的宏观不均匀性且将所述聚合薄片分类成可接受或待检。
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公开(公告)号：CN105729326A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201510964932.2
申请日：2015-12-21
申请人： 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 , 陶氏环球技术有限责任公司
CPC分类号： B24B37/24 , B24B37/22 , B24B37/34 , B24D18/00 , B24D99/00 , B24D18/009 , B24B37/20 , B24D18/0072 , G01N21/59
摘要： 提供一种制造化学机械抛光垫的方法，其中自动检查系统经配置以检测切削薄片的宏观不均匀性并且将所述切削薄片分类成可接受或待检；其中所述可接受切削薄片进一步加工形成化学机械抛光垫的抛光层。
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公开(公告)号：CN105209902B
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201480028276.9
申请日：2014-05-27
申请人： 陶氏环球技术有限责任公司
CPC分类号： G01N29/07 , G01N17/006 , G01N17/04 , G01N17/043 , G01N29/043 , G01N29/223 , G01N29/2475 , G01N29/4427 , G01N2291/011 , G01N2291/0258 , G01N2291/02854 , G01N2291/044
摘要： 本发明提供用于测量设备材料的腐蚀速率的系统和方法。系统可以包括腐蚀探针主体，用于插入腐蚀流体流过的所述设备的内部。所述腐蚀探针主体上的至少一个传感器包含：超声波源，其经配置以将超声波信号提供到所述探针主体材料中；以及接收器，其经配置以从所述探针主体材料接收所述超声波信号的反射并且产生指示所述超声波信号的行进时间的电响应信号。热交换器可以放置成与所述探针主体流体连通以将加热或冷却流体传递到所述探针主体。处理器经配置以处理所述电响应信号并且产生对应的腐蚀数据。
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公开(公告)号：CN113348360A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN201980089722.X
申请日：2019-11-06
申请人： 陶氏环球技术有限责任公司
摘要： 光学探头(10)中的探头主体(12)，其包括具有多个探头通风口(16)的测量管(14)，所述探头通风口适于允许过程流体流过其中；两个或多个吹扫环，每个包括过程窗口、吹扫气体入口和用于将吹扫气体引向或靠近过程窗口的多个吹扫气体出口孔；以及由测量管的一部分和两个或多个吹扫环限定的测量区域。
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公开(公告)号：CN105209902A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201480028276.9
申请日：2014-05-27
申请人： 陶氏环球技术有限责任公司
CPC分类号： G01N29/07 , G01N17/006 , G01N17/04 , G01N17/043 , G01N29/043 , G01N29/223 , G01N29/2475 , G01N29/4427 , G01N2291/011 , G01N2291/0258 , G01N2291/02854 , G01N2291/044
摘要： 本发明提供用于测量设备材料的腐蚀速率的系统和方法。系统可以包括腐蚀探针主体，用于插入腐蚀流体流过的所述设备的内部。所述腐蚀探针主体上的至少一个传感器包含：超声波源，其经配置以将超声波信号提供到所述探针主体材料中；以及接收器，其经配置以从所述探针主体材料接收所述超声波信号的反射并且产生指示所述超声波信号的行进时间的电响应信号。热交换器可以放置成与所述探针主体流体连通以将加热或冷却流体传递到所述探针主体。处理器经配置以处理所述电响应信号并且产生对应的腐蚀数据。
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