多晶硅生产中的尾气吸收液和冷凝液回收的分隔壁精馏塔、方法、处理系统
摘要:
本发明公开了一种多晶硅生产中的尾气吸收液和尾气冷凝液回收的分隔壁精馏塔、方法、处理系统,该分隔壁精馏塔包括进料口,分隔壁精馏塔包括至少部分的设置在其内的分隔壁,分隔壁将分隔壁精馏塔分隔为Ⅰ区域、Ⅱ区域、Ⅲ区域,Ⅲ区域设置于分隔壁精馏塔的塔釜,Ⅰ区域与Ⅱ区域分别设置于分隔壁的两侧,进料口与Ⅰ区域同侧,Ⅰ区域用于解析氯化氢;Ⅱ区域为侧线采出段,Ⅱ区域用于通过侧线采出来收集二氯二氢硅和三氯氢硅的混合物;Ⅲ区域为Ⅰ区域与Ⅱ区域的公共精馏段,Ⅲ区域用于收集四氯化硅。在一个分隔壁精馏塔内实现了氯化氢、四氯化硅、二氯二氢硅和三氯氢硅混合物的分离,且耗能小、体积小、操作流程简单、回收效果好。
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