高精度大量程三维微纳米测量探头
摘要:
本发明公开了一种高精度大量程三维微纳米测量探头,其特征是利用支撑件固定连接测头单元和测量单元,其测头单元设置有双层悬浮结构,前端悬浮结构设置一平面反射镜,并安装一测量探针,后端悬浮结构固定有挡光刀片,并通过一连接探杆与前端悬浮结构相连;测量单元设置一分光棱镜将光源光束分为反射光与透射光,反射光光强由于挡光刀片的Z向联动产生变化并照射在第一四象限探测器上,透射光经三块平面反射镜的反射照射在第二四象限探测器上;利用第一四象限探测器和第二四象限探测器输出的检测信号实现对平面反射镜的位移和二维角度的测量。本发明能获得高精度、高灵敏度,大量程、小测力和稳定性高的探测效果。
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