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公开(公告)号：CN109238084B
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201810988563.4
申请日：2018-08-28
申请人： 合肥工业大学
摘要： 本发明公开了一种微型圆孔测量的自动导引方法，利用左相机和右相机针对探针和待测圆孔进行拍摄获取左源图和右源图，通过边缘提取生成图像A和图像B；分别对图像A及图像B进行椭圆检测，获取每张图像中探针及圆孔的椭圆轮廓。依据四个椭圆获取四个包络矩形，再依据四个包络矩形截取左源图及右源图中探针和圆孔的影像放大生成四张图像进行边缘提取，保留最外层边缘点得到四个椭圆心坐标，依此获得探针及待测圆孔中心在左源图和右源图中的坐标，最后利用标定的相机参数，获取探针与待测微型圆孔中心的三维距离，驱动三坐标测量机完成导引。本发明实现了探针向微型圆孔中心的自动导引，能极大地提高微型圆孔测量的测量效率。
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公开(公告)号：CN110081823A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910491629.3
申请日：2019-06-06
申请人： 合肥工业大学
IPC分类号： G01B11/00
摘要： 本发明公开了一种机床五自由度几何运动误差测量系统，包括激光发射单元、四自由度误差测量单元和滚转误差测量单元；激光发射单元和滚转误差测量端相对基座位置固定，四自由度误差测量单元和滚转误差测量单元中矩形反射镜随载物台移动；四自由度误差测量单元由两个内置二维位移光电传感器感测激光发射单元发出的激光信号，通过两个传感器的输出获得沿机床载物台移动方向上的直线度误差和角度误差；滚转误差测量单元基于激光自准直原理，通过内置的二维位移光电传感器测得沿载物台移动方向上的滚转角误差。本发明通过测量能够获得机床五个自由度的几何运动误差，辅助机床安装、调校时的快速测量。
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公开(公告)号：CN106767551A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611034239.6
申请日：2016-11-18
申请人： 合肥工业大学
CPC分类号： G01B11/27 , B81C1/00182 , G01B11/2408 , G01B11/306
摘要： 本发明公布了一种微纳米测量设备用高精度高灵敏弹性簧片的制作方法，其特征在于：采用化学蚀刻的方法制作高灵敏弹性簧片，包括设计图案、菲林片打印、铍铜片表面处理、贴覆感光膜、加固感光膜、曝光、显影、腐蚀和脱膜九个步骤。本发明的制作方法与传统方法相比，成本较低、方法简单、易于实现、易于加工复杂图案的弹性簧片；且采用本发明方法加工出的弹性簧片的性能参数(如圆度、直线度、边缘粗糙度等参数)优于采用传统方法加工出的弹性簧片。
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公开(公告)号：CN105987668A
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201610021560.4
申请日：2016-01-11
申请人： 合肥工业大学
CPC分类号： G01B11/02 , G01B11/0608
摘要： 本发明公开了一种基于图像处理的手机壳内部尺寸测量装置，在中间支撑框上设置四个横放的固定板，固定板用来固定基于弹性机构的测头单元。在测头单元的转接杆正前方设置一CCD，CCD通过尾部的外螺纹与CCD固定板的螺纹孔连接，CCD固定板通过两端的螺纹孔与支腿连接。测量手机壳侧面阶高和槽深时的测头单元将转接杆设置在测量杆尾部。在基于弹性机构的测头单元正上方设置一大市场CCD，CCD通过尾部的外螺纹与CCD固定板的螺纹孔连接，CCD固定板通过两端的螺纹孔与上支撑框连接。本发明能够获得高精度、高灵敏度的探测效果，可以测量非接触方法难以测量的深孔、台阶等尺寸；同时具有高稳定性、低成本且装调方便的优势。
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公开(公告)号：CN105967141A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610302455.8
申请日：2016-05-04
申请人： 合肥工业大学
CPC分类号： G01B5/012 , G01B1/00 , B81C99/005 , B81C1/00126
摘要： 本发明公开了一种微测球制备与监测装置，包括磁场发生系统、三维位移调整机构、送丝机构，图像监测系统四大部分。磁场发生系统主要是U型电磁铁，三维位移调整机构包括二维平移台、一维平移台、钨丝导向管，火花塞等。而送丝机构包括传动轮、压轮，送丝轮，原料供应部分。图像监测系统包括显微物镜、第三代无限远光结构镜头，支架等部分。本发明解决了钨球和钨杆偏心的问题，也解决了重力对球度影响的问题。提高了球度，偏心的精度，也使球体动态形成的过程监测成为可能。
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公开(公告)号：CN104174448A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410407039.5
申请日：2014-08-18
申请人： 合肥工业大学
IPC分类号： B01L7/00
摘要： 本发明公开了一种自然对流式高精度恒温箱，其特征是：设置恒温箱为一绝热的箱体，由处在箱体内腔上部的稳流板将箱体的内腔分隔为上部制冷腔和下部恒温腔；在箱体的顶部均匀分布各贯穿箱体顶部的半导体制冷模块，在构成半导体制冷模块的外散热片和内散冷片之间以夹持的形式紧贴半导体冷制片，内散冷片处在箱体的上部制冷腔中，外散热片处在箱体顶板上部，在外散热片的上方安装有散热风扇。本发明控温精度高、无振动、体积小、能耗低、成本低、移动方便，尤其适于微纳米测量领域中的应用。
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公开(公告)号：CN110081823B
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN201910491629.3
申请日：2019-06-06
申请人： 合肥工业大学
IPC分类号： G01B11/00
摘要： 本发明公开了一种机床五自由度几何运动误差测量系统，包括激光发射单元、四自由度误差测量单元和滚转误差测量单元；激光发射单元和滚转误差测量端相对基座位置固定，四自由度误差测量单元和滚转误差测量单元中矩形反射镜随载物台移动；四自由度误差测量单元由两个内置二维位移光电传感器感测激光发射单元发出的激光信号，通过两个传感器的输出获得沿机床载物台移动方向上的直线度误差和角度误差；滚转误差测量单元基于激光自准直原理，通过内置的二维位移光电传感器测得沿载物台移动方向上的滚转角误差。本发明通过测量能够获得机床五个自由度的几何运动误差，辅助机床安装、调校时的快速测量。
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公开(公告)号：CN104266582A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201410541855.5
申请日：2014-10-14
申请人： 合肥工业大学
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 本发明公开了一种具有波长稳定、补偿功能的高精度微型迈克尔逊干涉仪系统，将微型迈克尔逊干涉仪、自动恒功率电路及波长补偿系统整合在一起，作为一整体测量系统来感测测量反射镜的位移，并通过自动恒功率电路及波长补偿系统对激光器波长值进行稳定、实时修正，保证了位移测量的准确性。本发明采用激光二极管作为光源的设计，不仅使系统具有结构简单、低成本、高精度的特点，而且整体尺寸大大缩小，适于作为短行程纳米级精度定位平台的传感器系统使用。
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公开(公告)号：CN102494607B
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201110335066.2
申请日：2011-10-28
申请人： 合肥工业大学
摘要： 本发明公开了一种三维微纳米接触扫描探头中的弹性测头，其特征是在固定圆环的中央设置十字悬浮片，十字悬浮片中各悬臂是在臂端连接有悬臂簧片，各悬臂簧片的另一端与固定圆环相连接，形成十字悬浮片在固定圆环中的悬浮结构；在十字悬浮片朝向筒体内的一侧平面上，处在十字悬浮片的中央位置处设置一中央平面反光镜，处在十字悬浮片的至少一个悬臂的臂端部位设置有悬臂平面反光镜；在十字悬浮片朝向筒体外的一侧平面上，扫描探针固定安装在十字悬浮片的中心，处在扫描探头最前端的测球固定安装在扫描探针的端部。本发明能够获得大量程、高精度、高灵敏度和小测力的探测效果。
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公开(公告)号：CN105783772B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201610128422.6
申请日：2016-03-07
申请人： 合肥工业大学
IPC分类号： G01B11/24
CPC分类号： G01B5/016 , G01B5/012 , G01B11/007 , G01D5/26 , G01D5/30
摘要： 本发明公开了一种单传感器式三维微纳米接触触发测量探头，其特征是在基座中分别设置测头单元和测量单元，其测头单元将簧片支承在圆环座上，在簧片上设置圆形悬浮片，在圆形悬浮片上固定设置分光棱镜和楔形块，测杆与圆形悬浮片呈“T”形固定连接；测量单元是将激光器射出的准直光投射经分光棱镜和楔形块聚焦在四象限探测器上，利用四象限探测器测量探针的偏摆，从而实现单传感器式三维微纳米接触触发式测量。本发明能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果，其稳定性高、成本低且装调方便。
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