公开(公告)号：CN104457613B

公开(公告)日：2017-06-30

申请号：CN201410834005.4

申请日：2014-12-26

申请人： 合肥工业大学

发明人： 李瑞君 ,  向萌 ,  范光照 ,  冯建 ,  何亚雄

IPC分类号： G01B11/24 ,  G01B11/00

摘要： 本发明公开了一种三维微纳米接触触发式探头，其特征是在一固定圆环的中央设置十字悬浮片，在十字悬浮片的各悬臂的臂端连接有悬臂簧片，各悬臂簧片的另一端与固定圆环相连接，形成十字悬浮片在固定圆环中的悬浮结构；在十字悬浮片一侧的中央位置处设置测量中央平面反射镜，另一侧安装带有红宝石测球的探针；激光器发射出的准直光投射在测量中央平面反射镜上，并经测量中央平面反射镜反射后形成反射光，反射光经过透镜聚焦在四象限探测器上，以四象限探测器测量中央平面反射镜的位移和二维角度。本发明能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果，同时具有高稳定性、低成本且装调方便的优势。

公开(公告)号：CN105758335A

公开(公告)日：2016-07-13

申请号：CN201610310886.9

申请日：2016-05-10

申请人： 合肥工业大学

发明人： 李瑞君 ,  许鹏 ,  向萌 ,  范光照 ,  程真英

IPC分类号： G01B11/24

CPC分类号： G01B11/24

摘要： 本发明公开了一种高精度大量程三维微纳米测量探头，其特征是利用支撑件固定连接测头单元和测量单元，其测头单元设置有双层悬浮结构，前端悬浮结构设置一平面反射镜，并安装一测量探针，后端悬浮结构固定有挡光刀片，并通过一连接探杆与前端悬浮结构相连；测量单元设置一分光棱镜将光源光束分为反射光与透射光，反射光光强由于挡光刀片的Z向联动产生变化并照射在第一四象限探测器上，透射光经三块平面反射镜的反射照射在第二四象限探测器上；利用第一四象限探测器和第二四象限探测器输出的检测信号实现对平面反射镜的位移和二维角度的测量。本发明能获得高精度、高灵敏度，大量程、小测力和稳定性高的探测效果。

公开(公告)号：CN104457613A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201410834005.4

申请日：2014-12-26

申请人： 合肥工业大学

发明人： 李瑞君 ,  向萌 ,  范光照 ,  冯建 ,  何亚雄

IPC分类号： G01B11/24 ,  G01B11/00

摘要： 本发明公开了一种三维微纳米接触触发式探头，其特征是在一固定圆环的中央设置十字悬浮片，在十字悬浮片的各悬臂的臂端连接有悬臂簧片，各悬臂簧片的另一端与固定圆环相连接，形成十字悬浮片在固定圆环中的悬浮结构；在十字悬浮片一侧的中央位置处设置测量中央平面反射镜，另一侧安装带有红宝石测球的探针；激光器发射出的准直光投射在测量中央平面反射镜上，并经测量中央平面反射镜反射后形成反射光，反射光经过透镜聚焦在四象限探测器上，以四象限探测器测量中央平面反射镜的位移和二维角度。本发明能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果，同时具有高稳定性、低成本且装调方便的优势。

公开(公告)号：CN105758335B

公开(公告)日：2018-05-01

申请号：CN201610310886.9

申请日：2016-05-10

申请人： 合肥工业大学

发明人： 李瑞君 ,  许鹏 ,  向萌 ,  范光照 ,  程真英

IPC分类号： G01B11/24

摘要： 本发明公开了一种高精度大量程三维微纳米测量探头，其特征是利用支撑件固定连接测头单元和测量单元，其测头单元设置有双层悬浮结构，前端悬浮结构设置一平面反射镜，并安装一测量探针，后端悬浮结构固定有挡光刀片，并通过一连接探杆与前端悬浮结构相连；测量单元设置一分光棱镜将光源光束分为反射光与透射光，反射光光强由于挡光刀片的Z向联动产生变化并照射在第一四象限探测器上，透射光经三块平面反射镜的反射照射在第二四象限探测器上；利用第一四象限探测器和第二四象限探测器输出的检测信号实现对平面反射镜的位移和二维角度的测量。本发明能获得高精度、高灵敏度，大量程、小测力和稳定性高的探测效果。