发明授权
- 专利标题: 收尘装置
-
申请号: CN201610102765.5申请日: 2013-09-09
-
公开(公告)号: CN105771505B公开(公告)日: 2017-07-28
- 发明人: 朱刘 , 陈松 , 于金凤 , 朱巨才 , 吴伟平 , 李钦
- 申请人: 清远先导材料有限公司
- 申请人地址: 广东省清远市高新区百嘉工业园27-29号
- 专利权人: 清远先导材料有限公司
- 当前专利权人: 威科赛乐微电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省清远市高新区百嘉工业园27-29号
- 代理机构: 北京五洲洋和知识产权代理事务所
- 代理商 张向琨; 刘春成
- 主分类号: B01D50/00
- IPC分类号: B01D50/00 ; B01D46/00 ; B01D46/44
摘要:
本发明提供了一种收尘装置,其包括主过滤器,连接于产尘装置以接收来自产尘装置的粉尘;次过滤器,设置在主过滤器的下方,与主过滤器连接;两个平行过滤器,分别与次过滤器连接并分别与次过滤器受控连通,两个平行过滤器的一个平行过滤器为备用以在两个平行过滤器中的另一个平行过滤器不能正常工作时该备用的平行过滤器启动并工作;三个收尘桶,分别安装于次过滤器与两个平行过滤器的下方,并分别受控连通于次过滤器与两个平行过滤器以用于收集次过滤器与两个平行过滤器里面的粉尘;以及机械泵,受控连通于两个平行过滤器以接收从两个平行过滤器中的正常工作的平行过滤器排出的气体并向外排出。能有效地去除粉尘;更好地保护机械泵和恒压真空泵。
公开/授权文献
- CN105771505A 收尘装置 公开/授权日:2016-07-20