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公开(公告)号：CN105771505B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201610102765.5
申请日：2013-09-09
申请人： 清远先导材料有限公司
摘要： 本发明提供了一种收尘装置，其包括主过滤器，连接于产尘装置以接收来自产尘装置的粉尘；次过滤器，设置在主过滤器的下方，与主过滤器连接；两个平行过滤器，分别与次过滤器连接并分别与次过滤器受控连通，两个平行过滤器的一个平行过滤器为备用以在两个平行过滤器中的另一个平行过滤器不能正常工作时该备用的平行过滤器启动并工作；三个收尘桶，分别安装于次过滤器与两个平行过滤器的下方，并分别受控连通于次过滤器与两个平行过滤器以用于收集次过滤器与两个平行过滤器里面的粉尘；以及机械泵，受控连通于两个平行过滤器以接收从两个平行过滤器中的正常工作的平行过滤器排出的气体并向外排出。能有效地去除粉尘；更好地保护机械泵和恒压真空泵。
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公开(公告)号：CN105582771B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201610102763.6
申请日：2013-09-09
申请人： 清远先导材料有限公司
摘要： 本发明提供了一种收尘装置，其包括主过滤器，连接于产尘装置以接收来自产尘装置的粉尘；次过滤器，设置在主过滤器的下方，与主过滤器连接；两个平行过滤器，分别与次过滤器连接并分别与次过滤器受控连通，两个平行过滤器的一个平行过滤器为备用以在两个平行过滤器中的另一个平行过滤器不能正常工作时该备用的平行过滤器启动并工作；三个收尘桶，分别安装于次过滤器与两个平行过滤器的下方，并分别受控连通于次过滤器与两个平行过滤器以用于收集次过滤器与两个平行过滤器里面的粉尘；以及机械泵，受控连通于两个平行过滤器以接收从两个平行过滤器中的正常工作的平行过滤器排出的气体并向外排出。能有效地去除粉尘；更好地保护机械泵和恒压真空泵。
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公开(公告)号：CN104415635A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201310408002.X
申请日：2013-09-09
申请人： 清远先导材料有限公司
IPC分类号： B01D50/00
摘要： 本发明提供了一种收尘装置，其包括主过滤器，连接于产尘装置以接收来自产尘装置的粉尘；次过滤器，设置在主过滤器的下方，与主过滤器连接；两个平行过滤器，分别与次过滤器连接并分别与次过滤器受控连通，两个平行过滤器的一个平行过滤器为备用以在两个平行过滤器中的另一个平行过滤器不能正常工作时该备用的平行过滤器启动并工作；三个收尘桶，分别安装于次过滤器与两个平行过滤器的下方，并分别受控连通于次过滤器与两个平行过滤器以用于收集次过滤器与两个平行过滤器里面的粉尘；以及机械泵，受控连通于两个平行过滤器以接收从两个平行过滤器中的正常工作的平行过滤器排出的气体并向外排出。能有效地去除粉尘；更好地保护机械泵和恒压真空泵。
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公开(公告)号：CN104415635B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201310408002.X
申请日：2013-09-09
申请人： 清远先导材料有限公司
IPC分类号： B01D50/00
摘要： 本发明提供了一种收尘装置，其包括主过滤器，连接于产尘装置以接收来自产尘装置的粉尘；次过滤器，设置在主过滤器的下方，与主过滤器连接；两个平行过滤器，分别与次过滤器连接并分别与次过滤器受控连通，两个平行过滤器的一个平行过滤器为备用以在两个平行过滤器中的另一个平行过滤器不能正常工作时该备用的平行过滤器启动并工作；三个收尘桶，分别安装于次过滤器与两个平行过滤器的下方，并分别受控连通于次过滤器与两个平行过滤器以用于收集次过滤器与两个平行过滤器里面的粉尘；以及机械泵，受控连通于两个平行过滤器以接收从两个平行过滤器中的正常工作的平行过滤器排出的气体并向外排出。能有效地去除粉尘；更好地保护机械泵和恒压真空泵。
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公开(公告)号：CN103898475A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410160934.1
申请日：2014-04-21
申请人： 清远先导材料有限公司
IPC分类号： C23C16/44
摘要： 本发明公开一种多腔室石墨沉积装置，包括收尘机构、具有两个以上沉积室的沉积机构以及用于盛放固体原料并向所述沉积室供送气态原料的原料供给机构，所述收尘机构设有用于收集所述沉积室逸出的粉尘的收尘容器以及用于供所述沉积室逸出的粉尘通过并流向所述收尘容器的收尘通道。本发明由于设置具有两个以上沉积室的沉积机构，设置的原料供给机构用来盛放固体原料并向所述沉积室供送气态原料，因而相比于单腔室沉积组件能使产量大为提高；设置的收尘机构使得沉积过程中产生的粉尘能够在经过收尘通道时或经过后在收尘容器中沉淀下来被收集，减少向外排放的量，使沉积过程能够顺利进行，又能尽量减少对环境的污染。本发明还公开一种化学气相沉积炉。
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公开(公告)号：CN103898475B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201410160934.1
申请日：2014-04-21
申请人： 清远先导材料有限公司
IPC分类号： C23C16/44
摘要： 本发明公开一种多腔室石墨沉积装置，包括收尘机构、具有两个以上沉积室的沉积机构以及用于盛放固体原料并向所述沉积室供送气态原料的原料供给机构，所述收尘机构设有用于收集所述沉积室逸出的粉尘的收尘容器以及用于供所述沉积室逸出的粉尘通过并流向所述收尘容器的收尘通道。本发明由于设置具有两个以上沉积室的沉积机构，设置的原料供给机构用来盛放固体原料并向所述沉积室供送气态原料，因而相比于单腔室沉积组件能使产量大为提高；设置的收尘机构使得沉积过程中产生的粉尘能够在经过收尘通道时或经过后在收尘容器中沉淀下来被收集，减少向外排放的量，使沉积过程能够顺利进行，又能尽量减少对环境的污染。本发明还公开一种化学气相沉积炉。
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公开(公告)号：CN105771505A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201610102765.5
申请日：2013-09-09
申请人： 清远先导材料有限公司
CPC分类号： B01D50/002 , B01D46/0019 , B01D46/0068 , B01D46/446 , B01D2267/30 , B01D2267/40
摘要： 本发明提供了一种收尘装置，其包括主过滤器，连接于产尘装置以接收来自产尘装置的粉尘；次过滤器，设置在主过滤器的下方，与主过滤器连接；两个平行过滤器，分别与次过滤器连接并分别与次过滤器受控连通，两个平行过滤器的一个平行过滤器为备用以在两个平行过滤器中的另一个平行过滤器不能正常工作时该备用的平行过滤器启动并工作；三个收尘桶，分别安装于次过滤器与两个平行过滤器的下方，并分别受控连通于次过滤器与两个平行过滤器以用于收集次过滤器与两个平行过滤器里面的粉尘；以及机械泵，受控连通于两个平行过滤器以接收从两个平行过滤器中的正常工作的平行过滤器排出的气体并向外排出。能有效地去除粉尘；更好地保护机械泵和恒压真空泵。
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公开(公告)号：CN105582771A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201610102763.6
申请日：2013-09-09
申请人： 清远先导材料有限公司
CPC分类号： B01D50/002 , B01D46/0019 , B01D46/0068 , B01D46/446 , B01D2267/30 , B01D2267/40
摘要： 本发明提供了一种收尘装置，其包括主过滤器，连接于产尘装置以接收来自产尘装置的粉尘；次过滤器，设置在主过滤器的下方，与主过滤器连接；两个平行过滤器，分别与次过滤器连接并分别与次过滤器受控连通，两个平行过滤器的一个平行过滤器为备用以在两个平行过滤器中的另一个平行过滤器不能正常工作时该备用的平行过滤器启动并工作；三个收尘桶，分别安装于次过滤器与两个平行过滤器的下方，并分别受控连通于次过滤器与两个平行过滤器以用于收集次过滤器与两个平行过滤器里面的粉尘；以及机械泵，受控连通于两个平行过滤器以接收从两个平行过滤器中的正常工作的平行过滤器排出的气体并向外排出。能有效地去除粉尘；更好地保护机械泵和恒压真空泵。
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公开(公告)号：CN103924222A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201410172645.3
申请日：2014-04-25
申请人： 清远先导材料有限公司
IPC分类号： C23C16/52 , C23C16/455
摘要： 本发明提供了一种测量化学气相沉积炉内原料蒸发量的方法，本发明提供的方法采用测量组件对化学气相沉积炉的原料蒸发量进行测定，通过测定固体原料变为液体时的位移，以及液体蒸发过程中的位移，得到原料的蒸发量。本发明提供的方法采用的测量组件，其浮球组件设置在固体原料的顶部，能够实时反映原料的液面的变换；测量组件中的位移传感器组件探出化学气相沉积炉，从而能够实现对大设备、高炉膛的化学气相沉积炉的使用要求。而且得到的检测结果更加准确，能够实时反映原料的变换，从而精确的控制反应过程中原料的比例，提高产品的性能。
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公开(公告)号：CN213984537U
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202022692819.2
申请日：2020-11-18
申请人： 清远先导材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种倾斜角度可调的区熔炉，包括第一基座、第二基座、安装在所述第一基座上的第一支架、安装在所述第二基座上的第二支架、炉体；所述第一支架上设有圆弧槽，所述炉体具有滑动式安装在所述圆弧槽内的第一端和转动式安装在所述第二支架上的第二端，所述圆弧槽的圆心位于所述炉体的第二端的转动轴线上。本实用新型炉体可以绕着第二支架转动，实现炉体倾斜角度的调节，属于金属、半导体提纯装置的技术领域。
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