发明公开
- 专利标题: 半导体器件
- 专利标题(英): Semiconductor device
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申请号: CN201410812116.5申请日: 2014-12-22
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公开(公告)号: CN105789368A公开(公告)日: 2016-07-20
- 发明人: 殷华湘 , 贾云丛 , 袁烽 , 陈大鹏
- 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 申请人地址: 北京市朝阳区北土城西路3#
- 专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区北土城西路3#
- 代理机构: 北京蓝智辉煌知识产权代理事务所
- 代理商 陈红
- 主分类号: H01L31/115
- IPC分类号: H01L31/115 ; H01L31/02
摘要:
本发明提供了一种半导体X线探测器及其制造方法,将PIN接触层过孔之于像素单元的侧边,可以减少铟柱(包括UBM粘附层)封装工艺对PIN二极管器件电学特性的影响,避免金属钉刺现象,减少漏电流;同时,侧边接触结构可以降低PIN接触层过孔对后继的铟柱成球工艺的不利影响;另外,侧边接触减小了金属接触面积,从而降低了金属漏电。
公开/授权文献
- CN105789368B 半导体器件 公开/授权日:2017-07-21
IPC分类: