半导体封装及其安装结构
Abstract:
本发明涉及半导体封装及其安装结构。具备中介层(1)、搭载于中介层(1)的第一面的半导体元件(2)、形成于中介层(1)的第二面的凸块(3)、以及搭载于中介层(1)的第二面的芯片部件(10)。中介层(1)是硅中介层,半导体元件(2)被倒装芯片安装于中介层(1)的第一面,芯片部件(10)是在硅基板上通过薄膜工艺形成元件,并在单一面形成焊盘的薄膜无源元件,芯片部件(10)的焊盘经由导电性接合材料而与形成于中介层(1)的第二面的焊环连接。根据该结构,小型化的同时确保半导体封装的中介层(1)与芯片部件(10)之间的接合可靠性。
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