发明授权
CN105836733B 一种改善非金属衬底上直接生长的石墨烯质量的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种改善非金属衬底上直接生长的石墨烯质量的方法
-
申请号: CN201610144523.2申请日: 2016-03-14
-
公开(公告)号: CN105836733B公开(公告)日: 2018-03-09
- 发明人: 孙捷 , 樊星 , 许坤 , 郭伟玲 , 徐晨 , 邓军
- 申请人: 北京工业大学
- 申请人地址: 北京市朝阳区平乐园100号
- 专利权人: 北京工业大学
- 当前专利权人: 北京工业大学
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区平乐园100号
- 代理机构: 北京思海天达知识产权代理有限公司
- 代理商 张慧
- 主分类号: C01B32/186
- IPC分类号: C01B32/186
摘要:
一种改善非金属衬底上直接生长的石墨烯质量的方法,属于半导体材料生长领域。首先利用化学气相沉积法在非金属衬底上生长一层石墨烯薄膜,再在石墨烯薄膜上溅射一层薄金属层,将生长有薄金属层的衬底再次进行石墨烯薄膜的CVD生长,生长完成后去除表面石墨烯薄膜与金属层。本发明改善了非金属衬底上直接生长的石墨烯的质量,经过再次催化生长后,石墨烯薄膜的质量和性能均得到了显著提升。
公开/授权文献
- CN105836733A 一种改善非金属衬底上直接生长的石墨烯质量的方法 公开/授权日:2016-08-10