一种改善非金属衬底上直接生长的石墨烯质量的方法
摘要:
一种改善非金属衬底上直接生长的石墨烯质量的方法,属于半导体材料生长领域。首先利用化学气相沉积法在非金属衬底上生长一层石墨烯薄膜,再在石墨烯薄膜上溅射一层薄金属层,将生长有薄金属层的衬底再次进行石墨烯薄膜的CVD生长,生长完成后去除表面石墨烯薄膜与金属层。本发明改善了非金属衬底上直接生长的石墨烯的质量,经过再次催化生长后,石墨烯薄膜的质量和性能均得到了显著提升。
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