显微观察用光学装置
摘要:
显微观察用光学装置(4)是使来自样本(S)的红外光入射至摄像机(3)的光学装置,具备:冷屏(13),其是具有对应于低倍率的显微光学系统(5)的开口(13d、13e)且使来自样本(S)的光通过至摄像机(3)的配置于真空容器(12)内的光圈构件;暖屏(10),其是具有对应于高倍率的显微光学系统(5)的开口(14)且使来自样本(S)的光向冷屏(13)通过的配置于真空容器(12)外的光圈构件;以及支撑构件(11),其将暖屏(10)能够出入地支撑于来自样本(S)的光的光轴上;暖屏(10)在摄像机(3)侧具有反射面(15),开口(14)小于开口(13d、13e)。
公开/授权文献
0/0