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    显微观察用光学装置
    2.
    发明授权
    显微观察用光学装置 有权

    公开(公告)号：CN103649814B

    公开(公告)日：2016-06-29

    申请号：CN201280032676.8

    申请日：2012-05-17

    申请人： 浜松光子学株式会社

    发明人： 中村共则 ,  荒田育男 ,  伊藤能弘

    IPC分类号： G02B21/00 ,  G02B7/02 ,  G02B21/02

    CPC分类号： G02B21/361 ,  G02B5/006 ,  G02B21/0004 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/04 ,  G02B21/16 ,  G02B21/248 ,  G02B27/0018

    摘要： 显微观察用光学装置（4）是使来自样本（S）的红外光入射至摄像机（3）的光学装置，具备：冷屏（13），其是具有对应于低倍率的显微光学系统（5）的开口（13d、13e）且使来自样本（S）的光通过至摄像机（3）的配置于真空容器（12）内的光圈构件；暖屏（10），其是具有对应于高倍率的显微光学系统（5）的开口（14）且使来自样本（S）的光向冷屏（13）通过的配置于真空容器（12）外的光圈构件；以及支撑构件（11），其将暖屏（10）能够出入地支撑于来自样本（S）的光的光轴上；暖屏（10）在摄像机（3）侧具有反射面（15），开口（14）小于开口（13d、13e）。

    显微观察用光学装置
    3.
    发明公开
    显微观察用光学装置 有权

    公开(公告)号：CN103649814A

    公开(公告)日：2014-03-19

    申请号：CN201280032676.8

    申请日：2012-05-17

    申请人： 浜松光子学株式会社

    发明人： 中村共则 ,  荒田育男 ,  伊藤能弘

    IPC分类号： G02B21/00 ,  G02B7/02 ,  G02B21/02

    CPC分类号： G02B21/361 ,  G02B5/006 ,  G02B21/0004 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/04 ,  G02B21/16 ,  G02B21/248 ,  G02B27/0018

    摘要： 显微观察用光学装置（4）是使来自样本（S）的红外光入射至摄像机（3）的光学装置，具备：冷屏（13），其是具有对应于低倍率的显微光学系统（5）的开口（13d、13e）且使来自样本（S）的光通过至摄像机（3）的配置于真空容器（12）内的光圈构件；暖屏（10），其是具有对应于高倍率的显微光学系统（5）的开口（14）且使来自样本（S）的光向冷屏（13）通过的配置于真空容器（12）外的光圈构件；以及支撑构件（11），其将暖屏（10）能够出入地支撑于来自样本（S）的光的光轴上；暖屏（10）在摄像机（3）侧具有反射面（15），开口（14）小于开口（13d、13e）。

    半导体故障解析装置
    4.
    发明公开
    半导体故障解析装置 审中-实审

    公开(公告)号：CN114616475A

    公开(公告)日：2022-06-10

    申请号：CN202080074955.5

    申请日：2020-11-24

    申请人： 浜松光子学株式会社

    发明人： 活洲政敬 ,  荒田育男 ,  伊藤能弘 ,  石塚利道

    IPC分类号： G01R31/265 ,  G01R31/302 ,  G01N21/41 ,  G01N21/59 ,  G01N25/72

    摘要： 本发明的半导体故障解析装置(1)具备：测试器(2)，其对半导体器件(100)施加刺激信号；光源(3)，其产生照射于半导体器件(100)的照射光(L1)；固体浸没式透镜(4)，其配置于照射光(L1)的光路上；光检测部(5)，其接受反射光(L2)，并且输出对应于反射光(L2)的检测信号；光学系统(6)，其配置于光源(3)与固体浸没式透镜(4)之间，经由固体浸没式透镜(4)对半导体器件(100)出射照射光(L1)，且配置于固体浸没式透镜(4)与光学检测部(5)之间，将经由固体浸没式透镜(4)而接受的反射光(L2)出射至光检测部(5)；及计算机(7)，其利用检测信号获得与半导体器件(100)的故障部位相关的信息。光源(3)出射中心波长为880nm以上且980nm以下的照射光(L1)。固体浸没式透镜(4)由GaAs形成。