发明公开
- 专利标题: 一种钨钛酸铋铁电薄膜及其制备方法
- 专利标题(英): Tungsten bismuth titanate ferroelectric film and preparation method thereof
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申请号: CN201610177743.5申请日: 2016-03-25
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公开(公告)号: CN105870123A公开(公告)日: 2016-08-17
- 发明人: 高锋 , 张继豪 , 吴艳 , 韦悦周
- 申请人: 广西大学
- 申请人地址: 广西壮族自治区南宁市西乡塘区大学路100号
- 专利权人: 广西大学
- 当前专利权人: 广西大学
- 当前专利权人地址: 广西壮族自治区南宁市西乡塘区大学路100号
- 代理机构: 广西南宁公平专利事务所有限责任公司
- 代理商 覃现凯
- 主分类号: H01L27/115
- IPC分类号: H01L27/115 ; H01L23/64 ; H01L21/02
摘要:
一种钨钛酸铋铁电薄膜,该薄膜材料的化学式为Bi4Ti3?xWxO12,其中0<x≤0.5。其制备方法的工艺路线为:配制前驱液→制备前驱膜→制备铁电薄膜;该方法以水合硝酸铋、钛酸正四丁酯和异丙醇钨为前驱物,以冰乙酸和二乙醇甲醚的混合溶液为溶剂,以乙酰丙酮为稳定剂配制前驱液,经涂覆后高温焙烧制得光滑致密、厚度均匀、光透性好钨钛酸铋薄膜。这种方法具有易于控制材料组分,便于实现规模化生产的优点。该薄膜具有优良的铁电性能,剩余极化强度高,抗疲劳性能好,与稀土元素掺杂的钛酸铋铁电薄膜相比,该薄膜制备过程不添加任何稀土元素,从而降低薄膜的生产成本,在非易失性铁电存储器领域具有广阔的应用前景。
公开/授权文献
- CN105870123B 一种钨钛酸铋铁电薄膜的制备方法 公开/授权日:2018-06-29
IPC分类: