发明公开
- 专利标题: 硅微球体制造
- 专利标题(英): Silicon microsphere fabrication
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申请号: CN201480073184.2申请日: 2014-12-05
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公开(公告)号: CN105917439A公开(公告)日: 2016-08-31
- 发明人: 马克·D·罗恩索 , 特里西娅·A·扬布尔 , 威廉·J·雷
- 申请人: 尼斯迪格瑞科技环球公司
- 申请人地址: 美国亚利桑那州
- 专利权人: 尼斯迪格瑞科技环球公司
- 当前专利权人: 印制能源技术有限公司
- 当前专利权人地址: 美国亚利桑那州
- 代理机构: 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 沈锦华
- 优先权: 14/101,554 2013.12.10 US
- 国际申请: PCT/US2014/068841 2014.12.05
- 国际公布: WO2015/088911 EN 2015.06.18
- 进入国家日期: 2016-07-14
- 主分类号: H01L21/02
- IPC分类号: H01L21/02 ; H01L31/18
摘要:
直径小于200um的小型硅球用于形成太阳能电池板是合意的。为制造此种小型球体,已在大面积玻璃衬底的表面中蚀刻了数以百万计的例如具有小于200um的直径的相同凹痕。接着将由含有经碾磨的硅的纳米颗粒的流体形成的硅油墨沉积在所述衬底上方以完全填充所述凹痕,且去除多余油墨。加热所述油墨以蒸发所述流体且熔化所述硅纳米颗粒。使用光子系统快速熔化所述硅。所述经熔化的硅通过表面张力在每个凹痕中形成球体。由于所述油墨中所述硅的密度及每个凹痕的体积经良好定义,因此每个球体的体积经良好定义。所述衬底可重复使用。使用所述工艺每分钟可生产数以亿计的球体。
公开/授权文献
- CN105917439B 硅微球体制造 公开/授权日:2020-04-21
IPC分类: