硅微球体制造
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105917439A

    公开(公告)日:2016-08-31

    申请号:CN201480073184.2

    申请日:2014-12-05

    IPC分类号: H01L21/02 H01L31/18

    摘要: 直径小于200um的小型硅球用于形成太阳能电池板是合意的。为制造此种小型球体,已在大面积玻璃衬底的表面中蚀刻了数以百万计的例如具有小于200um的直径的相同凹痕。接着将由含有经碾磨的硅的纳米颗粒的流体形成的硅油墨沉积在所述衬底上方以完全填充所述凹痕,且去除多余油墨。加热所述油墨以蒸发所述流体且熔化所述硅纳米颗粒。使用光子系统快速熔化所述硅。所述经熔化的硅通过表面张力在每个凹痕中形成球体。由于所述油墨中所述硅的密度及每个凹痕的体积经良好定义,因此每个球体的体积经良好定义。所述衬底可重复使用。使用所述工艺每分钟可生产数以亿计的球体。