发明公开
- 专利标题: 磁盘用基板的制造方法和磁盘的制造方法
- 专利标题(英): Manufacturing method for magnetic disk-use substrate and manufacturing method for magnetic disk
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申请号: CN201580005892.7申请日: 2015-02-02
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公开(公告)号: CN105940450A公开(公告)日: 2016-09-14
- 发明人: 德光秀造 , 原好太
- 申请人: HOYA株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: HOYA株式会社
- 当前专利权人: HOYA株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 庞东成
- 优先权: 2014-017134 2014.01.31 JP
- 国际申请: PCT/JP2015/052892 2015.02.02
- 国际公布: WO2015/115653 JA 2015.08.06
- 进入国家日期: 2016-07-26
- 主分类号: G11B5/84
- IPC分类号: G11B5/84 ; B24B37/08 ; C09K3/14
摘要:
本发明提供一种磁盘用玻璃基板的制造方法,该制造方法能够抑制研磨磨粒的清洗残留,能够充分降低基板表面缺陷。本发明中,用表面配备有研磨垫的一对定盘夹持圆板状的基板,将包含胶态二氧化硅作为研磨磨粒的研磨液供给至研磨面,从而对圆板状的基板的主表面进行研磨。上述研磨液含有具有特定的酰胺基或脲基的下述物质作为添加剂。R1‑NH‑CO‑R2式中,R1表示烷基或氢原子,R2表示烷基或‑NH‑R3,R3表示烷基。
公开/授权文献
- CN105940450B 磁盘用基板的制造方法和磁盘的制造方法 公开/授权日:2019-07-02
IPC分类: