- 专利标题: 一种玻璃毛细管中旋转加工微结构的装置及其方法
- 专利标题(英): Device and method for rotatably machining microstructure in glass capillary
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申请号: CN201610395801.1申请日: 2016-06-06
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公开(公告)号: CN105967532A公开(公告)日: 2016-09-28
- 发明人: 牛棚楷 , 陶卫东 , 胡雪芳 , 董建峰
- 申请人: 宁波大学
- 申请人地址: 浙江省宁波市江北区风华路818号
- 专利权人: 宁波大学
- 当前专利权人: 宁波大学
- 当前专利权人地址: 浙江省宁波市江北区风华路818号
- 代理机构: 宁波诚源专利事务所有限公司
- 代理商 徐雪波; 徐芙姗
- 主分类号: C03C23/00
- IPC分类号: C03C23/00
摘要:
一种玻璃毛细管中旋转加工微结构的装置及其方法,包括飞秒激光器,其特征在于:还包括设于微加工工作台上的定位玻璃毛细管的固定装置,带动玻璃毛细管旋转进而进行旋转加工的旋转装置,以及用于将玻璃毛细管中吸入光刻胶和去除光刻胶的清洗装置。本装置制作过程简单易操作,成本低,使用方法简单明了,能够精确便捷地使玻璃毛细管达到旋转光刻的效果,并且可以快速有效地将无水乙醇充入玻璃毛细管中,清洗玻璃毛细管中光刻残留的光刻胶,再进行紫外光照,进而有效地将玻璃毛细管中的微结构定型。
公开/授权文献
- CN105967532B 一种玻璃毛细管中旋转加工微结构的装置及其方法 公开/授权日:2018-12-18