Invention Grant
CN106030816B 具有增强的击穿电压的III-N晶体管
失效 - 权利终止
- Patent Title: 具有增强的击穿电压的III-N晶体管
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Application No.: CN201480076340.0Application Date: 2014-03-26
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Publication No.: CN106030816BPublication Date: 2019-10-18
- Inventor: H·W·田 , B·舒-金 , S·达斯古普塔 , R·周 , S·H·宋 , R·皮拉里塞泰 , M·拉多萨夫列维奇
- Applicant: 英特尔公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚
- Assignee: 英特尔公司
- Current Assignee: 英特尔公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚
- Agency: 永新专利商标代理有限公司
- Agent 林金朝; 王英
- International Application: PCT/US2014/031903 2014.03.26
- International Announcement: WO2015/147816 EN 2015.10.01
- Date entered country: 2016-08-25
- Main IPC: H01L29/78
- IPC: H01L29/78 ; H01L21/336

Abstract:
讨论了与具有增强的击穿电压的III‑N晶体管有关的技术、包含这样的晶体管的系统以及用于形成它们的方法。这样的晶体管包括处于衬底之上的具有开口的硬掩模、源极、漏极以及处于源极与漏极之间的沟道,并且源极或漏极的一部分设置在硬掩模的开口之上。
Public/Granted literature
- CN106030816A 具有增强的击穿电压的III-N晶体管 Public/Granted day:2016-10-12
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IPC分类: