真空泵
摘要:
本发明提供一种抑制转子和侧板的磨损而防止真空泵的耐久性降低的真空泵。其特征在于,该真空泵具备:中空形状的缸室(S),其在外壳主体(22)的端部具有开口;转子(27),其在缸室(S)内被旋转驱动;侧板(26),其堵塞缸室(S)的开口;以及泵罩(24),其隔着侧板(26)配置在与转子(27)相反的一侧,且被固定在外壳主体(22)上,在侧板(26)上设有与转子(27)的轴孔(27A)相对且与该侧板(26)和泵罩(24)之间的空间(80)连通的连通口(261)。
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