发明公开
- 专利标题: 一种显影均匀性检测方法
- 专利标题(英): Development uniformity detection method
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申请号: CN201610764846.1申请日: 2016-08-30
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公开(公告)号: CN106154770A公开(公告)日: 2016-11-23
- 发明人: 周兵兵
- 申请人: 苏州同冠微电子有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市张家港经济开发区南区新丰东路3号
- 专利权人: 苏州同冠微电子有限公司
- 当前专利权人: 苏州同冠微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市张家港经济开发区南区新丰东路3号
- 代理机构: 北京中政联科专利代理事务所
- 代理商 曹军
- 主分类号: G03F7/30
- IPC分类号: G03F7/30 ; G01N21/00
摘要:
本发明公开了一种显影均匀性检测方法,包括以下步骤:曝光模式预设:根据承印晶圆的规格,在光刻机上进行多个曝光阵列位置的设定,所述曝光阵列由多个曝光单元格整齐排列而成,多个曝光阵列均采用相同的曝光能量设定进行曝光;承印晶圆涂胶、曝光并显影:将承印晶圆涂覆光刻胶后,置于光刻机内,采用预设的曝光模式进行曝光后进行显影处理;显影均匀性判定:根据每个曝光阵列中白色曝光单元格的数量,计算每个曝光阵列的中间显影能力值,中间显影能力值等于白色曝光单元格对应的曝光能量值的平均值,比对不同位置曝光阵列的中间显影能力值,即可完成显影均匀性判断。本发明操作简单,有效提高了显影均匀性检测的效率。
公开/授权文献
- CN106154770B 一种显影均匀性检测方法 公开/授权日:2019-08-16
IPC分类: