一种显影均匀性检测方法
摘要:
本发明公开了一种显影均匀性检测方法,包括以下步骤:曝光模式预设:根据承印晶圆的规格,在光刻机上进行多个曝光阵列位置的设定,所述曝光阵列由多个曝光单元格整齐排列而成,多个曝光阵列均采用相同的曝光能量设定进行曝光;承印晶圆涂胶、曝光并显影:将承印晶圆涂覆光刻胶后,置于光刻机内,采用预设的曝光模式进行曝光后进行显影处理;显影均匀性判定:根据每个曝光阵列中白色曝光单元格的数量,计算每个曝光阵列的中间显影能力值,中间显影能力值等于白色曝光单元格对应的曝光能量值的平均值,比对不同位置曝光阵列的中间显影能力值,即可完成显影均匀性判断。本发明操作简单,有效提高了显影均匀性检测的效率。
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