具有薄膜压电传感器的针
摘要:
一种传感器设备包括包含多个层的柔性平面带(40)。所述带被配置为至少部分地包封医学设备。所述带包括:第一介电层(10);被设置在所述第一介电层上的导电屏蔽层(12);被形成在所述导电屏蔽层上的第二介电层(14);以及包括传感器电极(26)、中心电极(28)以及连接所述传感器电极和所述中心电极的迹线(18)的图案化导电层。
公开/授权文献
0/0