一种玻璃钝化半导体器件及其制作方法
摘要:
一种以铝硅酸盐为基本成分的,例如氧PbO-或者ZnO-铝硅酸盐,氧化玻璃钝化半导体器件,其特征在于:为了增加该半导体器件在反向偏压和高应力下的可靠性,其包含玻璃钝化次表层,所述玻璃钝化次表层构成该玻璃钝化半导体的玻璃厚度的5%,并且含有表面浓度在8*1018cm-3至9*1019cm-3范围内的铯。
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